Gebraucht VEECO 695 #9291133 zu verkaufen
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ID: 9291133
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2013
CVD System, 8"
No Hard Disk Drive (HDD)
2013 vintage.
VEECO 695 ist ein Plasmabearbeitungsreaktor, der entwickelt wurde, um anspruchsvolle, hochpräzise Komponenten für den Einsatz in Halbleiter-, LED, Photovoltaik- und Medizinprodukten herzustellen. Der Reaktor ist mit einem fortschrittlichen, direkt angetriebenen Permanentmagnetmotor und einer fünfachsigen Portalausrüstung ausgestattet. Das System unterstützt mehrere Dual-Prozess-Wafer sowie einen Wafer. 695 bietet ein beeindruckendes Spektrum an Funktionen für die fortschrittliche Plasmabearbeitung, die nach spezifischen Prozessanwendungen angepasst werden können. Es ist mit einer inneren offenen Schnittstelle entworfen, um mehrere Technologien zu unterstützen. Diese offene Schnittstelle macht es kompatibel mit VEECO Plasmaquellen, Ionenstrahlgeneratoren und Scanning Ellipsometern. Es ist auch in drei Absorptionsmodellen erhältlich. VEECO 695 hat zwei Kammern, die den Reaktor bilden. Die erste ist zum Halten des Prozesswafers und die andere hält die Plasmaquelle. Die Prozessscheibe kann bis zu 30 Zoll im Durchmesser, mit einer Dicke von bis zu 100 Mikron. Die Plasmaquelle kann während der Verarbeitung bis zu 1,5 Torr Druck erzeugen. 695 verfügt über eine einzigartige Einheit Schnittstelle, so dass Benutzer den Reaktor fernsteuern für maximale Kontrolle und Genauigkeit. Die integrierten Tools zur Prozessüberwachung ermöglichen es Benutzern, die Prozessparameter zu überwachen und den Fortschritt des Wafers in Echtzeit zu überwachen. Der Reaktor verwendet eine Mehrzonen-Temperaturregelmaschine, die sowohl für die Kammer als auch für den Wafer präzise Temperaturen aufrecht erhalten kann. VEECO 695 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von Photomasken, Widerständen und Waferreinigung bis hin zu Ätz-, Abscheidungs- und Oxidationsprozessen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Design unterstützen hochpräzise Prozesse und machen den Reaktor ideal für die präzisesten und anspruchsvollsten Plasmabearbeitungsanforderungen. Die einzigartige Kombination aus Design, Leistung und Vielseitigkeit von 695 macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Anwendung.
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