Gebraucht VEECO CVC #9307852 zu verkaufen

Die VEECO CVC (Chemical Vapor Deposition) Reaktortechnologie ist eine hochpräzise Abscheidungsmethode, die die Abscheidung von nanoskaligen bis mikroskaligen Schichten von Materialien auf große Substrate ermöglicht. Diese Ausrüstung kann bei Bedarf nanoskalige Schichten aus einer Vielzahl von Elementen wie Metallen, Oxiden und Polymeren erstellen. Es ist ein universelles System, mit dem ein einzelnes Modul als Abscheide-, Stöchiometrie- oder Ätzeinheit für Fab-Leitungen fungieren kann, die mit fortgeschrittenen Halbleitern arbeiten - von digitalen bis hin zu MEMs und III-V-Bauelementen. Die CVC-Reaktormaschine besteht aus einer geschlossenen Kammer, einem beheizten Substrat und einem Paar von bedienergesteuerten Ventilen, die mit Gasleitungen verbunden sind. Zu Beginn des Zyklus wird die Kammer abgedichtet und ein vorgewählter Druck aufrechterhalten. Ein Spülgas dient der Aufrechterhaltung der Sauberkeit und der Verhinderung von Gasverunreinigungen. Beim Einleiten wird ein Trägergas wie Helium, Argon oder Stickstoff in die Kammer geleitet. Die entsprechenden Reaktantgase werden dem Trägergas in präzisen Mengen und bei vorgegebenen Temperaturen zugegeben, so daß ein gleichmäßiger Film über dem Substrat abgeschieden wird. Das Reaktorwerkzeug wird während des gesamten Prozesses automatisch überwacht und gesteuert. Der Abscheidevorgang in VEECO CVC erfolgt je nach gewünschter Foliendicke und Art von zwei bis fünf Stunden. Bei der Abscheidung werden dem Substrat Materialien wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und andere Legierungen zugesetzt und jede Schicht sorgfältig und präzise kontrolliert. Je höher die Qualität der abgeschiedenen Schicht, desto weniger Defekte, was die Erstellung von Submikrongeräten ermöglicht. Die CVC-Reaktortechnologie hat eine Reihe von Vorteilen, insbesondere hinsichtlich ihrer Abscheidungsgenauigkeit und Gleichmäßigkeit. Es ist auch in der Lage, hochwertige Schichten mit präziser Steuerung zu produzieren. Seine kompakte Größe ermöglicht die Integration in eine Reihe von Produktionswerkzeugfußabdrücken. Darüber hinaus ermöglicht die präzise Gassteuerung eine Vielzahl von Prozessen wie Nitrieren, Oxidation, Ätzen und Abscheiden mit minimalen Kontaminationen und ist somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. VEECO CVC-Prozess verbessert die Qualität der Ablagerungen wegen seiner uniformierten Zusammensetzung und weniger Probleme mit der Nähe von Toleranzen macht es für eine Reihe von Nanoanwendungen geeignet. Schließlich macht die kostengünstige Art seiner Produktion seine ideal für fab Produktionslinien. Die Verwendung von CVC-Reaktoren kann den Abscheidungsprozess verbessern und zu gleichmäßigeren Schichten mit besseren elektrischen Eigenschaften führen und die für die Abscheidung benötigte Zeit erheblich reduzieren.