Gebraucht VEECO / DEKTAK K 465 I #9410042 zu verkaufen
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ID: 9410042
Weinlese: 2010
MOCVD System
(2) EBARA ESA25-D Dry pumps
(2) LYTRON LCS7289G1 Chillers
Hydride lines: NH3, SiH4
MKS MFC Type
Alkyl lines:
Lines / SCCM
TMIn 1 / 1000 sccm
TMIn 2 / 200 sccm
TMGa 1 / 1000 sccm
TMGa 2 / 200 sccm+1000 sccm
TEGa / 1000 sccm
TMAl / 500 sccm+1000 sccm
Cp2Mg / 1000 sccm+2600 sccm
DEZn / 500 sccm+1000 sccm
RAUDA Baths:
RE235
(5) RE215
Power supply: 380 VAC, 3-Phase
2010 vintage.
VEECO/DEKTAK K 465 I ist eine Reaktorausrüstung, die speziell für die komplette Bearbeitung von Substraten entwickelt wurde. Es bietet eine hervorragende Kontrolle über die Abscheidungsparameter und ermöglicht eine effiziente Schrittabdeckung und eine großflächige gleichmäßige Filmabscheidung. Es bietet überlegene Substratgleichförmigkeit und überlegene Manipulationsleistung bei der Arbeit im 48 mm X 48 mm Arbeitsbereich. Der Reaktor ist ideal für den Anbau von Ein-, Mehrschicht- und Legierungsfolien im Nanopartikelmaßstab. Das System wurde entwickelt, um die Bedürfnisse einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiter, Forschung und allgemeine Laboranwendungen zu erfüllen. Es kann für Verfahren wie physikalische Dampfabscheidung (PVD), Niedertemperaturoxidabscheidung (LTO) und chemische Dampfabscheidung (CVD) verwendet werden. Es hat auch die Fähigkeit, eine Vielzahl von Oxid- und Nitrid-Profilen zu simulieren. Der Reaktor umfasst eine Grundplatte und einen Probenhalter, einen Quarzbildschirm, eine räumliche Verteileröffnung, einen Verschluss, eine Vakuumeinheit, ein Auslassventil, einen Wachstumsgeschwindigkeitsmonitor, eine Probenhalter-Stromversorgung und einen Kühlventilator. Alle diese Komponenten arbeiten zusammen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem hocheffizienten mechanischen Verschluss ausgelegt, der die Auswirkungen von atmosphärischer Luft auf das Werkzeug reduzieren kann, was zu einer erhöhten Genauigkeit und Gleichmäßigkeit der Ergebnisse führt. Der Vermögenswert basiert auf einem zweistufigen Ansatz mit einer „leichten Kammer“ und einer „starken Kammer“. Die „Lichtkammer“ ist die flachste Kammer und hat einen hohen Kammerdruck, der eine gleichmäßige und kontrollierte Chargenverarbeitung mit niedrigen Wachstumsraten ermöglicht. Die „starke Kammer“ sorgt für eine erhöhte Kontrolle des Abscheideprozesses und ermöglicht die Gleichmäßigkeit der Schichten. Durch die Verwendung mehrerer Wachstumsraten und verschiedener Kammerkonfigurationen ist das Modell in der Lage, mit Schrittabdeckung, Gleichmäßigkeit und Filmqualität überlegene Ergebnisse zu erzielen. VEECO K 465 I Reaktor ist auch mit einer Probe Halter Stromversorgung entworfen, so dass eine genaue Kontrolle der Temperatur und Wachstumszeit. Das Gerät verfügt über eine Mehrzonen-Steuerschnittstelle, die eine präzise Manipulation der Abscheidungsparameter ermöglicht. Darüber hinaus ist das System mit einer On-Board-Diagnoseeinheit ausgestattet, die eine einfache Fehlerbehebung der Maschine und ihrer Komponenten ermöglicht. Insgesamt ist DEKTAK K465I ein anspruchsvolles und fortschrittliches Reaktorwerkzeug, das den Anforderungen einer Vielzahl von Branchen und Anwendungen gerecht wird. Es bietet eine ausgezeichnete Kontrolle über die Substratverarbeitung und sorgt für überlegene Gleichmäßigkeit und Leistung. Die Anlage kann hochwertige Ergebnisse mit Schrittabdeckung und gleichmäßiger Filmabscheidung liefern und wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten industriellen Anforderungen zu erfüllen.
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