Gebraucht VEECO E450 #293641838 zu verkaufen

VEECO E450 ist eine komplette, schlüsselfertige Lösung für die Halbleiterwaferbearbeitung. Es handelt sich um einen Mehrzweck-Ätz- und Abscheidungsreaktor zur Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente. Der Reaktor besteht aus einem vollständig umschlossenen horizontalen Schrank, der die Kernkomponenten des Reaktors enthält. Auf der linken Seite des Gehäuses befindet sich die Prozesskammer, in der die primären elektrochemischen Plattierungszellen und resistiven Gasätzzellen untergebracht sind. Die Prozesskammer wird von einem Programmable Logic Controller (SPS) betrieben, der eine präzise Steuerung der Reaktorumgebung ermöglicht. Auf der rechten Seite des Gehäuses befindet sich der Wärmetauscher, der Wärme von der Prozesskammer auf das Reaktorkühlsystem überträgt. Das Kühlsystem besteht aus einer Reihe von Kühlplatten, Ventilatoren und Ölkühlern, die sicherstellen, dass der Reaktor die gewünschte Temperatur hält. Der Wärmetauscher ist auch für die Einstellung des statischen Drucks des Reaktorvakuums verantwortlich. Der statische Druck ist entscheidend für das kontrollierte Aufbringen von Reaktionspartnern auf die Substrate. Die Prozesskammer ist in drei Prozessbereiche mit jeweils eigenen Prozessen und Kontrollen gegliedert. Der erste Prozessbereich ist die Platinabscheidungskammer, die mit einem elektrochemischen Verfahren Platin und andere Metalle auf dem Substrat abscheidet. Die Platinabscheidungskammer ist mit einem Gas-Jet-Regler ausgestattet, der eine präzise Steuerung der Reaktanden während des Prozesses ermöglicht. Der zweite Prozessbereich ist die Resistive Gas Etch Chamber, die mit einem Hochfrequenzplasma komplexe Strukturen auf das Substrat aufätzt. Die Kammer ist mit einem Closed-Loop Temperature Control System ausgestattet, das eine stabile Ätzumgebung gewährleistet. Der dritte Prozessbereich ist die reaktive Ionenätzkammer, die physikalisches Sputtern mit Ionenätzen kombiniert, um komplexe Muster auf den Substraten zu erzeugen. E450 ist ein vielseitiger, benutzerfreundlicher Reaktor, der eine breite Palette von Halbleiterbauelementen schafft. Mit Präzisionskontrollsystemen und ausgeklügelten Prozessen ist VEECO E450 die ideale Wahl für Fertigungsprofis in der Halbleiterindustrie.