Gebraucht VEECO E450 #293641839 zu verkaufen

VEECO E450 ist ein ALD-Reaktor (Atomic Layer Deposition), der zur Abscheidung von dünnen Filmen mit großer Konformität und Gleichmäßigkeit verwendet wird. Es ist ein Mehrzweckwerkzeug, das den Anforderungen kleinerer Halbleiterherstellungsprozesse wie Dünnschichtabscheidung, Epitaxiewachstum und Ätzen gerecht wird. Der Reaktor bietet eine ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit, liefert höhere Ausbeuten und eine verbesserte Gesamtprozesskontrolle. E450 wird mit einer Doppelquelle, Elektronbalkeneindampfungsausrüstung der niedrigen Energie und einer variablen Metalloxydquelle ausgestattet. Dieser Verdampfer ermöglicht das Aufbringen hochwertiger dünner Filme auf Substrate mit verbesserter Gleichmäßigkeit, Dicke und Homogenität. Die Metalloxidquelle ist in der Lage, Filme mit extrem schmalen Dickenprofilen herzustellen, was für die Hochleistungsgeräteherstellung wichtig ist. Darüber hinaus kann das System so konfiguriert werden, dass verschiedene ALD-Prozesse und Folien mit unterschiedlichen chemischen Zusammensetzungen durchgeführt werden. VEECO E450 verfügt über eine fortschrittliche Gerätesteuerung, die eine präzise Temperatur-, Zeit- und Druckregelung für eine verbesserte Prozessausbeute und -steuerung bietet. Das Werkzeug hat die Fähigkeit, mehr als 25 Prozessgrößen zu steuern, um gewünschte Abscheidungsergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt es über integrierte Messtechnik und Analysefunktionen zur Messung von Foliendicke und -qualität sowie zur Erleichterung einer fortschrittlichen Prozesskontrolle. E450 Reaktor ist für einen flexiblen Produktionsprozess mit hoher Verfügbarkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt. Es wird mit modernen, fortschrittlichen Komponenten und Technologien gebaut, darunter zwei Niedertemperatur-Reaktionskammern, eine schnell fahrende Last und hocheffiziente, niedrig ionisierende Pumpsysteme. Darüber hinaus können Prozessentwicklung und -erprobung in seiner integrierten Testkammer durchgeführt werden. VEECO E450 Reaktor ist ein Schlüsselgerät für die Herstellung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen. Es ist ein einfach zu bedienendes Asset, das eine hervorragende Filmgleichförmigkeit, hohe Erträge und Wiederholbarkeit bietet. Darüber hinaus sorgt sie durch ihre fortschrittliche Modellsteuerung und integrierte Messtechnik dafür, dass die gewünschten Dünnschichtabscheidungsergebnisse konsequent erreicht werden.