Gebraucht VEECO / EMCORE D125 #293793344 zu verkaufen

VEECO/EMCORE D125 ist ein Hochleistungs-Magnetronsputterreaktor mit vertikaler Elektronenzyklotronresonanz (ECR), der für eine Vielzahl von Sputterabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Der Reaktor hat eine vertikale Molybdän-Kathode und eine Anode, die bis zu 125 mm Durchmesser Ziele aufnehmen kann. Der Ofen ist in der Lage, Drücke bis zu 6 Torr mit einer möglichen 3 Torr unteren Grenze zu stützen, und verfügt über eine einzigartige Gas-Mischer-Düse, die eine konsistente und gleichmäßige Gasumgebung in der Abscheidezone schafft. Der Reaktor wird mit ECR-Mikrowellenleistung betrieben, ausgestattet mit einem kurzen Wellenleiter mit einer Wellenleiteröffnung von 125 mm. Dies ermöglicht eine direkte Wellenleiterkopplung von ECR-Mikrowellenleistung für höhere Abscheidungsraten und höhere Ionisationseffizienz. VEECO D125 arbeitet mit 13,56 MHz und verfügt über eine eingebettete Leistungssteuerung zur präzisen Steuerung des ECR-Mikrowellenleistungspegels. Die Leistungssteuerung ermöglicht auch eine verbesserte Rezeptsteuerung der Systemparameter wie Zielgröße, Zielform, Abscheiderate, Basisdruck und Mikrowellenleistung. Der Reaktor bietet verschiedene Heizmöglichkeiten, darunter bis zu drei HF-Heizquellen und eine Quarzlampenheizung sowie ein integriertes Pyrometer für Temperaturmessungen. Mit einem installierten Pyrometer kann der Ofen auch für Oxidations- und Glühprozesse verwendet werden. Die mit EMCORE D125 erhältlichen Quarzlampenheizlampen haben einstellbare Intensitäten und sind in Infrarot, Ultraviolett und Tiefviolett mit einstellbarer Höhe zur präzisen Erwärmung des Substrats erhältlich. Zusätzlich zu seinen Funktionen kann D125 Reaktor auch an die Bedürfnisse des Kunden angepasst werden, wie z. B. die Auswahl aus mehreren Basisdruckbedingungen, benutzerdefinierten Zielgurtlängen und Anodendesigns und optionaler konfigurierbarer ECR-Fernquelle. Der Reaktor ist auch für den Einsatz in gefährlichen Umgebungen zertifiziert und verfügt über eine breite Palette von Klassifizierungen, einschließlich ATEX und IECEx. Dies macht es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich Industrie, Forschung, und Universitätslabors. Insgesamt ist VEECO/EMCORE D125 ein effizienter, zuverlässiger und anpassbarer Reaktor, der für unübertroffene Leistung und Qualitätsabscheidung entwickelt wurde. Der Reaktor bietet eine Reihe von flexiblen Optionen und ist eine gute Wahl für eine Vielzahl von Sputter-Abscheidungsanwendungen.