Gebraucht VEECO / EMCORE D125 #9212026 zu verkaufen
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ID: 9212026
Weinlese: 2003
MOCVD System
(2) Chillers
Semi-automatic wafer transfer
Gas delivery system
Flanges constructed of 316L stainless steel
Reactor & gas panel: With exhaust vented steel & polycarbonate cabinet panels
HEPA Filtered wafer loading area
With system cabinet
7-8 Metal organic channels (Switchable from N2 to H2 carrier gas)
3-4 Hydride channels
Standard non-emissivity corrected pyrometer included
Up to 3 2"/1 3" wafers per run capability
(4) SiC Coated wafer carriers: (2) Standard 3 x 2" / (2) Custom configurations
EBARA A70W Process pump
MKS Butterfly reactor exhaust line pressure control valve
With PID control
Turbo molecular pump / Scroll dry pump for load lock
CTC Controller with low noise analog card for T/C channel
MO & Hydride delivery SS lines
Heaters and controls
(5) MO Bath water chillers
AFFINITY / LYTRON / Equivalent heat exchanger
Turbo rotation: 1500 RPM
Safety alarm system
Control system:
Operating system: Windows 7
Personal computer (PC)
With flat panel monitor
Alarms
Routines provide unparalleled control system versatility
Spare parts:
(3) Analog cards
(2) Digital cards
(2) MFC
PCU
Baratron
ATMI CDO 862 Abatement system
Combination scrubber and burn-box
Nitride MOCVD precursors: NH3, H2, SiH4, MOs
Handling maximum D125/D180 gas flows (according to OEM specifications)
Scrubber water: Recirculated in loop
PRAXAIR (3) Bottles ULTRA PURGE ammonia gas cabinet
Internal gas network: ULTRA PURGE Controller
(2) 501b ammonia bottles
Does not include nitrogen purge bottle
Air products AP10, 24" silane gas cabinet
Touch screen controls
(2) SILANE Bottles
Indoor gas distribution panel for hydrogen and nitrogen:
Anodized aluminum: 3 ft. x 4 ft./ Smaller gas panel
Cylinder banks and nitrogen purge: Manifold with (2) hydrogen inlets
(2) Pressure regulators
(3) Check valves
(2) Inline particle filters
(8) Manual valves
High purify 1/4 inch tubing
Tees
Weldments (Orbital welding)
(2) Pressure gauges
Leak checking and certification of leak integrity
Outdoor gas distribution panel for hydrogen with nitrogen purging capability:
36 in x 9 in / Smaller anodized aluminum gas panel
Purging & switching manifolds for (2) six pack cylinders
Manual valves and (2) check valves
UHP 1/4 inch Tubing
Weldments (Orbital welding)
(2) Pressure gauges
Leak checking & certification of leak integrity
System electrical specification:
208 / 220V
50 or 60 Hz
3 φ 150 A per φ
5 Wire with GND
Gas supply specification
Type / Rating / Max flow / Mean flow
Purified H2 / 30-40-100 PSIG / 65 SLM / 30-40 SLM
Purified N2 / 80-100 PSIG / 70 SLM / 20-40 SLM
N2 House feed / 80-100 PSIG / 50 SLM / 25 SLM
CDA/N2 for pneumatics / 80-100 PSIG / 50 SLM / < 15 SLM
NHa / 40-60 PSIG / 30 SLM / -
100 ppm SiH« in UHP H2 / 20-30 PSIG / 22 SLM / -
2003 vintage.
VEECO/EMCORE D125 ist eine universelle Reaktorausrüstung, die zur Unterstützung fortschrittlicher Prozessentwicklung, akademischer Forschung und Fertigungsabläufe im Produktionsmaßstab entwickelt wurde. VEECO D125 integriert fortschrittliche Hot-Wall-Technologie, die häufig in heterogenen katalytischen Prozessen und nanomateriellen Anwendungen verwendet wird. Das Reaktorsystem ist speziell optimiert, um eine präzise Temperatur-, Druck- und Verweilzeitregelung zu ermöglichen und gleichzeitig die höchste Ertragsproduktivität für verschiedenste Prozesse zu bieten. Der modulare Aufbau von EMCORE D125 ermöglicht eine individuelle Konfiguration, um die Anwendungsanforderungen des Benutzers optimal zu erfüllen. Es verfügt über eine integrierte Heizwandanlage mit maximalen Temperaturen bis 220 ° C und Innendrücken bis 22 bar. Die beheizte Wand besteht aus ringförmigen Schlitzen, die einen effizienten Wärmeübergang von der Wand zum Prozess ermöglichen. Die anpassbare, modulare Architektur ermöglicht die Modifikation des Geräts, um sowohl die Batch- als auch die kontinuierliche Verarbeitung zu unterstützen. Darüber hinaus ist die Gesamtauslegung und Einstellung des Reaktors einfach und kann einfach auf unterschiedliche Reaktorgrößen, Temperaturen, Drücke und Verweilzeiten ausgelegt werden. D125 bietet Anwendern eine Vielzahl von Prozesssteuerungsmöglichkeiten, von manuellen bis hin zu automatisierten Steuerungen, die eine einfache und flexible Entwicklung komplexer Prozesse ermöglichen. Automatisierte Steuerungssysteme können integriert werden, um wichtige Parameter zu überwachen, Einstellungen anzupassen und die Datenprotokollierung zu reproduzierbaren Ergebnissen zu führen. Prozesszeitplansimulationen können für sich wiederholende Strategien wie zyklisches Temp-Ramping und Druckerhöhungen/-abnahmen programmiert werden. Für Vorgänge, die eine hohe Prozessempfindlichkeit erfordern, können VEECO/EMCORE- D125 so konfiguriert werden, dass sie eine vollständige Gefahrenkontrolle und Maßnahmen bieten, die über die typischerweise vorgesehenen hinausgehen, z. B. eine Sicherheitsabschaltung. VEECO D125 verfügt über ein breites Anwendungsspektrum für Branchen und Anwendungen. Es kann in UV-Vis-Spektroskopie, Szintillationszählung und Beschichtungsprozessen eingesetzt werden. Darüber hinaus wird die Einheit in der Massenspektrometrie, Chromatographie und elektrochemischen Charakterisierung und Arzneimittelentdeckung eingesetzt. EMCORE D125 eignet sich gut für die Herstellung von Arzneimitteln, Kohlenstoff-Nanoröhren und anderen Proteinen in der biochemischen Industrie. Und seine fortschrittliche Technologie ist besonders nützlich für die Synthese von Nanomaterialien, die oft entweder sehr hohe Temperaturen, hohe Durchflussraten oder längere Reaktionszeiten erfordern. Insgesamt ist D125 eine flexible, robuste und zuverlässige Reaktormaschine, die optimiert ist, um fortschrittliche Prozessentwicklung, akademische Forschung und leistungsorientierte Produktionsanwendungen zu unterstützen. Der leistungsstarke, modulare Aufbau bietet eine integrierte Steuerung, präzise Temperatur-, Druck- und Verweilzeitsteuerung, verbesserte Produktivität und verbesserte Sicherheitsfunktionen sorgen für zuverlässige, reproduzierbare und wiederholbare Prozessergebnisse.
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