Gebraucht VEECO / EMCORE D180 GaAs #9031463 zu verkaufen
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ID: 9031463
Weinlese: 1999
MOCVD System
Throughput: 6" x 2"
MO Sources: TMAl-1, TMGa-2, DEZn-1, TMIn-1, CCl4-1
Hydride sources: PH3, AsH3, H2, N2, Si2H6, H2S
Epison III for TMIn
IEM (GB)
1999 vintage.
VEECO/EMCORE D180 GaAs Reaktor ist ein fertigungstechnisch fortschrittliches Aufdampfwerkzeug für die Verarbeitung von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Dieser Reaktor ermöglicht eine volumenstarke, konsistente Produktion von hochwertigen, GaAs-basierten Komponenten und Materialien für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen, wie Photonen-, Solarzellen und optoelektronischen Geräten. Das Gerät besteht aus drei Hauptkomponenten: der Vakuumabscheidungskammer, der Verdampfungskammer und der Abgasbeschichtung. Die Vakuumabscheidungskammer beherbergt das auf dem Substrathalter angebrachte Substrat und dient zur Aufnahme von Verdampfungs-, Sputter- und anderen Filmabscheidungsprozessen. Die Kammer ist mit in-situ Quarzansicht-Ports ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung der Wachstumsprozesse ermöglichen. Die Verdampfungskammer dient zur Zufuhr von Quellmaterial, das dann dem Substrat zugeführt wird. Zur Unterstützung oder Änderung des Abscheideprozesses können Gase in die Kammer eingeleitet werden. Die Abgasbeschichtung trägt zur Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Vakuumdrucks in der Abscheidekammer bei, was optimale Prozessbedingungen für die Materialabscheidung gewährleistet. Der VEECO D180 GaAs-Reaktor ist für den Betrieb unter einem weiten Temperaturbereich von bis zu 550 Grad Celsius ausgelegt und ermöglicht eine Hochtemperatur-Aufdampfung und galvanische Beschichtung von Metallen, einschließlich Gold, Aluminium und Kupfer. Das System hat eine schnelle Abscheiderate, die einen hohen Durchsatz an Komponenten ermöglicht. Der Reaktor ist mit einem Standard-USB-Anschluss für die Kommunikation mit anderen Maschinen oder Steuerungen ausgestattet. Die Einheit verfügt auch über eingebettete Verarbeitung, einschließlich Videostreaming, Synthese von metallischen Salzen und direkte Kontrolle der Abscheidungsraten, so dass die Abscheidungsprozesse automatisiert gesteuert werden können. Die Maschine erfüllt alle Sicherheitsstandards und verfügt über ein fortschrittliches Sicherheitskonzept, einschließlich einer integrierten Prozesssteuerung, Wasserkühlung, Sicherheitsmaßnahmen und Notabschaltsysteme. EMCORE D180 GaAs Reaktor ist einfach zu bedienen, mit leicht verfügbaren Wartungsdienstleistungen. Mit dem Werkzeug lassen sich verschiedenste Materialien und Komponenten verarbeiten, die Anwendungsbereiche erweitern und eine effizientere Herstellung von Halbleiterbauelementen ermöglichen.
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