Gebraucht VEECO / EMCORE D180 #293760075 zu verkaufen

VEECO/EMCORE D180 ist ein kompakter Halbleiterreaktor für Oberflächenmusteranwendungen. Es verwendet ein Vorläufergas und einen hochenergetischen Elektronenstrahl, um dünne Filme aus Halbleitermaterialien auf Substraten abzuscheiden. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine extrem präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht und eine hohe Wiederholbarkeit und Präzision bei der Abscheidung konformer dünner Filme auf Substraten gewährleistet. VEECO D180 ist mit einer leistungsstarken Elektronenkanone ausgestattet, die einen ungefähren Strahlstrom von 7,5 Ampere und eine beschleunigende Spannung bis zu 500kV erzeugt. Es verwendet eine Doppelanodenkonfiguration für einen Elektronenstrahl mit höherer Gleichmäßigkeit. Der Reaktor enthält auch eine Quarz-Monitorkammer zum Betrachten des Fortschritts der Filmabscheidung, wodurch es einfach ist, den Prozess für eine Vielzahl von Materialanwendungen zu optimieren. Die EMCORE D-180 ist ferner mit einem neuen Prozessverriegelungssystem ausgestattet, das den Strahl bei Erkennung einer Prozessunterbrechung sofort abschaltet und so eine Beschädigung des Substrats verhindert. Das Gerät nutzt eine effiziente ventilatorgestützte Abbaumaschine, die Gefahrgut einfangen und zu einer sekundären Entsorgungseinheit transportieren soll. Das Minderwerkzeug verfügt über einen HEPA-Filter sowie einen Kohlenstofffilter, um sicherzustellen, dass das Gefahrgut effizient und sicher vom Arbeitsbereich abtransportiert wird. Das Asset nutzt innovative Mustertechniken wie „Substratscannen“ zur vollständigen Kontrolle des Abscheidungsprozesses. EMCORE D180 unterstützt mehrere Mustertechniken, einschließlich Maskenprozess, Scan-Line-Prozess und eine neue „schnelle Abscheidung“. Das Modell ist auch mit einem Hochleistungsregler ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Abscheideprozess genau überwacht wird, um sicherzustellen, dass Prozessparameter effizient angepasst werden, um die Ausbeute zu maximieren. Das Design von VEECO/EMCORE D-180 macht es für verschiedene Halbleiteranwendungen wie MEMS-Fertigung, Elektronikverpackung, ODICs und optoelektronische Geräte bestens geeignet. Es wurde entwickelt, um einen robusten, stabilen, wiederholbaren und kostengünstigen Produktionsprozess für seine beabsichtigten Anwendungen bereitzustellen.