Gebraucht VEECO / EMCORE D180 #9178724 zu verkaufen

VEECO/EMCORE D180 ist ein atmosphärischer Druckplasmareaktor, der für die positive Ionenimplantation und Abscheidung von Oxiden, Nitriden, Metallen und Siliziden ausgelegt ist. Es verfügt über eine lange eiförmige Kammer, die eine gleichmäßige Gasverteilung mit einem Paar verwirbelnder Ablenkplatten ermöglicht. Sein flexibles Design ermöglicht eine einfache Modifikation und bietet ausgezeichnete Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu herkömmlichen nockengetriebenen Designs. Der Reaktor ist mit zwei Graphitelektroden variabler Größe und Form ausgestattet, um unterschiedlichen Implantatanforderungen gerecht zu werden. Die innere Isolierung sorgt für eine höhere Prozessionisation und erhöhte Implantatintensität im Vergleich zu herkömmlichen Ionenpistolen, während der vorgestellte selbstvorspannende Emitter auch bei großen Prozessverformungen eine stabile elektrische Entladung aufrechterhält. Die Hauptplasmaquelle verwendet induktive Kopplung, um eine breite Palette von Prozessgasen zu ionisieren, und umfasst Prozesssteuerung und Datenerfassungshardware. Die Endflächen jeder Elektrode sind geschlitzt, um das Magnetfeld zu erhöhen, das Elektronen von der ionischen Spezies trennt. Die zum Erreichen der Plasmastabilität erforderliche Menge des Magnetfeldes nimmt mit zunehmendem Kammerradius zu, so daß die Gesamtplasmadichte über die gesamte Kammer konstant gleichmäßig ist. VEECO D180 verfügt über ein modernes Gasversorgungssystem mit Massenstromreglern zur präzisen Gasförderung und -auswahl. Die Gasgemische können in Echtzeit verändert werden, und die automatische Druckregelung behält eine genaue Kontrolle über den Kammerdruck und die Substrattemperatur bei. Das System erfasst alle Strom- und Spannungsdaten während eines Laufs zur vollständigen Prozessüberwachung und -steuerung und kann auch über eine Ethernet-Verbindung extern überwacht werden. Schließlich kann das System an einen Glühofen angeschlossen werden, der das Nachglühen von Proben ermöglicht. Die niedrigen Betriebstemperaturen und fortschrittliche Emissionsminderungsmechanismen minimieren die Umweltbelastung. Infolgedessen ist EMCORE D-180 eine kostengünstige und umweltfreundliche Ausrüstung zur Plasmaabscheidung mit hervorragenden Abscheideeigenschaften und Prozessfähigkeiten.