Gebraucht VEECO / EMCORE D180 #9224745 zu verkaufen

VEECO/EMCORE D180 ist ein hochmoderner reaktiver Ionenätzreaktor (RIE) für nanoskalige Abscheidungsanwendungen. Diese Hochleistungsausrüstung kombiniert die neueste Technologie in der Vakuumabscheidung und -ätzung mit fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen für Zuverlässigkeit und Präzision. VEECO D180 ist in der Lage, komplexe Strukturen und Strukturen mit Nanometergenauigkeit zu realisieren. EMCORE D-180 verfügt über eine fortschrittliche Dual-Source-Abschirmungsarchitektur, um ein räumlich einheitlicheres Ätzprofil zu gewährleisten. Dieser Aufbau führt neben der Gleichmäßigkeit der Multiwafer-Suszeptibilitätsspulen in der Elektronenstrahlsäule zu überlegener Schichtgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit gegenüber Substraten. D-180 umfasst auch eine einzigartige Gasanlagenkonstruktion, die eine gleichmäßige Gasströmung in der Abscheidekammer für eine verbesserte Prozesssteuerung gewährleistet. Die Hochgeschwindigkeitsrotation der Wafer ermöglicht eine gleichmäßige Produktabscheidung und erhöht die Prozesssicherheit. Darüber hinaus ist die Kammer mit einer Vielzahl gerätefreundlicher Komponenten wie Thermistoren, Gassensoren, Membranen und Heizungen für eine präzise Temperaturregelung und eine präzise Gaszufuhr in die Kammer ausgestattet. Die Maschine kann auch die Intensitäten ihrer elektromagnetischen Felder steuern und sogar den Energy Dispersive Röntgenstrahl (EDX) einstellen. EMCORE D180 ist hochgradig konfigurierbar und verfügt über zusätzliche Funktionen wie eine flexible Prozesssoftware, geräuscharme Lüftersysteme und eine automatische Waschstation. Alle diese Merkmale in Kombination mit VEECO proprietärem Design und Qualitätstechnik ermöglichen die Verwendung von D180 zum präzisen Ätzen und Abscheiden von nanoskaligen Strukturen. Darüber hinaus kann das Werkzeug an jeder Prozessstation bis zu sechs Plasmaquellen unterstützen, was eine verbesserte Leistung und Flexibilität der Maschine ermöglicht. VEECO D-180 kann auch Geschwindigkeiten von bis zu 400 mm/min für Anwendungen mit hohem Durchsatz erreichen. Es ist mit einer Diagnosekammer ausgestattet, die eine detaillierte Diagnose und Feinabstimmung der Prozesse ermöglicht, wodurch keine speziellen Betriebs-/Wartungstechniker angeschafft werden müssen. VEECO/EMCORE D-180 kann zur Herstellung von nanostrukturierten Materialien und Schichten verwendet werden und ermöglicht es Herstellern, Hochleistungsprodukte und -komponenten zu erstellen. VEECO/EMCORE D180 ist ein hochentwickeltes Modell, das konsistente, reproduzierbare Leistung und Qualität für eine Vielzahl von nanoskaligen Anwendungen liefern kann.