Gebraucht VEECO / EMCORE D9000 #293765079 zu verkaufen
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VEECO/EMCORE D9000 ist ein leistungsstarker Reaktor für F & E-Abscheidungsprozesse in der Elektronik-, Halbleiter- und optischen Industrie. VEECO D9000 Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien bei den höchstmöglichen Verarbeitungstemperaturen mit hervorragendem Durchsatz, Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu handhaben. Es ist eines der fortschrittlichsten Trockenätz- und Abscheidungsverarbeitungssysteme der Branche und bietet herausragende Flexibilität und Leistung in einem einzigen Paket. Der Reaktor ist mit einer Hochtemperaturverarbeitungskapazität von bis zu 800 ° C sowie einem beeindruckenden Druckbereich von 0,1 mBar bis 10 Torr ausgelegt. Die Temperatur- und Druckregelung von EMCORE D9000 ermöglicht eine verbesserte Kontrolle des Abscheide- und Ätzprozesses für eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit. D9000 hat eine anisotrope Ätzfähigkeit und verwendet Ar/O2 Co-Sputtertechniken. Die Kammer hat auch eine große Auswahl an Prozessgasen, einschließlich spezieller Gase wie NF3, SF6 und Trimethylaluminium. Die große Verarbeitungskapazität von VEECO/EMCORE D9000 sowie sein breites Spektrum an optionalen Funktionen, darunter x, y, z Scanner, Plasmaquellenverzögerung, Ionenquellenenergie- und -ratensteuerung, HF-Leistungsregelung und in situ Quarzreflexion, macht es für eine Vielzahl geeignet. Die erweiterten Abscheide- und Ätzfunktionen des Systems ermöglichen höhere Verarbeitungstemperaturen und eine höhere Gleichmäßigkeit bei der Dünnschichtabscheidung. VEECO D9000 verfügt auch über Hochleistungs-Temperaturüberwachung sowie erweiterte Messtechnik und Bildgebung, so dass es schnell analysieren, vergleichen und überprüfen Ergebnisse aus der Verarbeitung läuft. Der Reaktor umfasst auch CIMS (Process Instrumentation Management System) und SYS-Control (Flexible Process Automation System) für erweiterte Steuerung, Überwachung und Echtzeit-Datenanalyse. Dies ermöglicht effizientere und besser informierte tägliche Abläufe, die eine effizientere und genauere Prozessoptimierung ermöglichen. EMCORE D9000 ist ein fortschrittlicher Reaktor, ideal für den Einsatz in F & E-Abscheidungsprozessen für die Halbleiter-, Elektronik- und optische Industrie. Seine hohe Temperatur Verarbeitung, breite Palette von optionalen Funktionen, erweiterte Steuerungssysteme und Überwachung machen es zu einem leistungsfähigen und vielseitigen Werkzeug. Es wurde entwickelt, um ein Höchstmaß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei Abscheide- und Ätzprozessen zu gewährleisten.
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