Gebraucht VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293751365 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla ist ein plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD). Es ist ein Hochleistungsabscheidungswerkzeug, das verwendet wird, um einheitliche Beschichtungen von Galliumnitrid (GaN) und anderen Materialien abzuscheiden und anzubauen. Die GaNzilla ist mit einer großen Reaktionskammer ausgestattet, die große Substrate handhaben kann, und verfügt über ein Prozessfenster von 500 ° C bis 1300 ° C. Es verfügt über ein schnelles Lastschlosssystem für schnelles Hochfahren und schnelle Prozesszykluszeiten. Der Reaktor verwendet eine Hochfrequenz (RF) -Plasmaquelle, die ein Plasma hoher Dichte mit verbesserter Kontrolle der Spezies und sehr gleichmäßigen Beschichtungen liefert. Der GaNzilla ist für eine hocheffiziente GaN-Abscheidung konzipiert, die ein gebrauchsfertiges System mit minimalem Setup ermöglicht. Es verfügt außerdem über ein integriertes Substratheizsystem mit kinematischer Kopplung, um eine hohe Substratgleichförmigkeit zu gewährleisten. Der Benutzer kann die Parameter des Prozesses, wie die Plasmaleistung, Gasströme und Substrattemperatur leicht steuern, um ein optimiertes Endprodukt zu gewährleisten. Der Reaktor weist außerdem eine variable Kammergeometrie auf, um das Verfahren an den Bedarf einer bestimmten Probe anzupassen. VEECO E300 GaNzilla verfügt über ein flexibles PC/SPS-Steuermodul, mit dem Benutzer den Reaktor auf ihre eigenen Bedürfnisse abstimmen können. Es enthält auch mehrere Sicherheitsfunktionen, um sicherzustellen, dass der Reaktor ordnungsgemäß betrieben wird und keine Unfälle auftreten. Insgesamt ist EMCORE E300 GaNzilla ein Hochleistungsreaktor, der zur hocheffizienten und zuverlässigen Abscheidung von GaN-Folien mit geringeren Zykluszeiten als andere Systeme eingesetzt werden kann. Aufgrund seiner fortschrittlichen Eigenschaften kann der GaNzilla verwendet werden, um hochwertige Folien für viele verschiedene Anwendungen herzustellen, von Halbleiterbauelementen bis hin zu mikroelektromechanischen Systemen.