Gebraucht VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293759445 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla ist eine Reaktorausrüstung, die verwendet wird, um große Mengen von Hochleistungs-Galliumnitrid (GaN) basierten Feldeffekttransistoren (FETs) zu erzeugen. Das GaNzilla ist ein Gleichstrom (DC) geschlossenes reaktives Sputterabscheidungssystem, das auf einer hochfrequenten (HF) Gleichstrom (DC) -basierten Substratvorspannungsquelle arbeitet. Die GaNzilla ist in der Lage, qualitativ hochwertige GaN-Materialien mit feinjustierter Kontrolle des Abscheidungsprozesses herzustellen. Das Gerät ist ideal für Anwendungen, die verschiedene GaN-Legierungssysteme und Hochleistungsgeräte erfordern. Der GaNzilla besteht aus zwei Teilen, dem HF-Netzteil und einem HF-Generator. Die HF-Stromversorgung ist für die Bearbeitung der Frequenz des HF-Signals zur Abscheidung verantwortlich. Dadurch wird die kristalline Struktur des abgeschiedenen Materials gesteuert. Der HF-Generator ist dafür verantwortlich, die benötigte Leistung unter Vakuumbedingungen an die Kathode der Prozesskammer zu liefern. VEECO E300 GaNzilla-Maschine verwendet ein Einzel-Wafer-Suszeptor-basiertes Abscheidungswerkzeug, was bedeutet, dass das Substrat vom Rest der Kammer isoliert ist. Dies gewährleistet Homogenität und Wiederholbarkeit im Abscheideprozess und verhindert Kontaminationen aus äußeren Quellen. Die Prozesskammer der Anlage ist so konzipiert, dass sie eine schnelle Evakuierung und Nachfüllung der Prozesskammer mit hochwertigen Sputterabscheidungsmaterialien ermöglicht. Die GaNzilla ermöglicht die Verwendung einer Vielzahl von Materialien im Abscheidungsprozess, einschließlich hochwertiger GaN-basierter Materialien wie AlGaN, InGaN, Si-dotiertes GaN und AlInGaN. Diese Materialien sind in der Lage, Hochleistungsgeräte wie FETs und Hochspannungsanwendungen herzustellen. Die GaNzilla unterstützt auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich Temperaturregelung, Partialdruckregelung, Vorspannung HF-Leistungsregelung und variable Druckregelung. Diese Funktionen ermöglichen präzise abgestimmte und kontrollierte Abscheideprozesse, was zu gleichbleibend hohen Ausbeuten an FETs und anderen Hochleistungsgeräten führt. EMCORE E300 GaNzilla ist äußerst benutzerfreundlich, mit einer Touchscreen-Oberfläche und einer Rezepturbibliothek, mit der Benutzer die fortschrittlichsten Prozesse einfach skalieren und implementieren können. Dies macht es einfach, mit verschiedenen Abscheidungstechniken und Materialien zu experimentieren und gleichzeitig sicherzustellen, dass der Abscheidungsprozess robust und wiederholbar ist. Insgesamt ist E300 GaNzilla ein vielseitiges Reaktormodell, das in der Lage ist, fortschrittliche GaN-basierte FETs und andere Hochleistungsgeräte in kurzen Umdrehungszeiten zu produzieren. Die beeindruckende Palette an Prozesssteuerungsfunktionen, kombiniert mit Benutzerfreundlichkeit, ermöglicht flexible und leistungsstarke Abscheideprozesse.