Gebraucht VEECO / EMCORE E300 #9265825 zu verkaufen

Der VEECO/EMCORE E300 Reaktor ist ein durch Halbleiter-Prozesse verbessertes Abscheidungssystem, das den neuesten Fortschritten in der Abscheidungstechnologie gerecht wird. Es ist eine modulare Werkzeugplattform mit voll integrierter, modularer Hardware, die eine Vielzahl von Prozessen unterstützt, einschließlich physikalischer Dampfabscheidung (PVD), elektronenunterstützter PVD (e-PVD), plasmaverbesserter Atomschichtabscheidung (PEALD) und chemischer Dampfabscheidung (CVD D D). Die modulare Hardware umfasst eine massenproduzierte modulare Kammer, eine große Auswahl an internen Ionenstrahlquellen und eine breite Palette von Hochenergie-Hochstrom-Prozessquellen. Es umfasst auch fortschrittliche Gas- und Prozesssteuerungssysteme für eine zuverlässige, leistungsstarke Prozesssteuerung. VEECO E300 Reaktor unterstützt die thermische und E-Strahl angetriebene Abscheidung, sowie in situ Überwachung und Steuerung von End-of-Line-Folien. Seine Architektur ermöglicht eine ebenso schnelle Prozessstartzeit sowie eine genaue In-situ-Prozesssteuerung. Dies ist entscheidend für die Herstellung von High-End-Geräten, bei denen eine präzise Steuerung von elektronisch aktiven Folien einen großen Einfluss auf die Geräteleistung haben kann. Auch der EMCORE E300 Reaktor verfügt über eine erweiterte Plasmakontrollfähigkeit, einschließlich der Fähigkeit, dem Substrat niedrigenergetischen Sauerstoff oder Stickstoffplasma zuzuführen. Das System kann auch Schritt/Blitz-Lithographie und Abheben durchführen und unterstützt Substrate und Wafer bis 200 mm Größe. Darüber hinaus verfügt E300 Reaktor über ein vollständiges Spektrum an optischen Betrachtungsmöglichkeiten, einschließlich eines hochauflösenden hochauflösenden Umgebungsmikroskops. Dadurch erhält der Anwender eine Echtzeit-Abbildung der Dünnschichtbildung, die eine verbesserte Filmcharakterisierung und/oder Prozessüberwachung ermöglicht. VEECO/EMCORE E300 bietet eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit und Kompatibilität mit praktisch allen Prozessgasen und ist somit ideal für die Herstellung hochwertiger, hochqualitativer Folien. All diese Faktoren machen VEECO E300 zu einer der führenden Lösungen für die fortschrittliche Integration von Dünnschichtprozessen.