Gebraucht VEECO / EMCORE E300 #9265829 zu verkaufen

Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
E300
ID: 9265829
System Process: GaAs.
VEECO/EMCORE E300 ist ein Reaktor für chemische Aufdampfanwendungen und andere Arten der epitaktischen Abscheidung. Dieser Reaktor ist in der Lage, aus verschiedenen Verbindungen eine breite Palette von hochreinen Materialien herzustellen. VEECO E300 Reaktor ist ein inerter, horizontaler Rohrreaktor aus Edelstahl und anderen Materialien, die hohen Temperaturen standhalten können. Der Reaktorinnenraum ist gegen Außenluft abgedichtet und verhindert Verunreinigungen. Es weist einen beheizten Suszeptor oder Tiegel zur Materialabscheidung auf. Der Suszeptor kann auf eine hohe Temperatur erwärmt werden. Es ist auch mit einer einzigartigen Vakuumquelle ausgestattet. An diesen Reaktor kann ein Stufenmassenspektrometer zur Überwachung von Reaktionsprozessen angeschlossen werden. EMCORE E300 hat eine breite Palette von Anwendungen in der Herstellung von Halbleitern wie Galliumarsenid, Indiumphosphid, III-V-Verbindungen, Siliciumcarbid und ähnlichen Materialien. Es hat eine schmutzarme Konstruktion, die es ermöglicht, diese Materialien in reiner Form herzustellen. Der kapazitätsgekoppelte Plasma (oder CCM) -Ansatz von E300 ermöglicht eine präzise Steuerung des Abscheidungsprozesses und seine flexible geometrische Konfiguration ermöglicht die Abscheidung dicker Filme. VEECO/EMCORE E300 bietet eine hohe Prozessrate, die eine höhere Produktivität ermöglicht. Sein Design ermöglicht die Optimierung von Prozessen wie Materialschichtwachstum, Oberflächenpassivierung und Ätzen. Es kann auch partikelerodierende Effekte eliminieren. Der Reaktor beinhaltet eine effiziente Kühlung, um Überhitzung und thermische Zerstörung von Produkten zu minimieren. Es ist mit diagnostischen Überwachungssystemen ausgestattet, die eine effiziente Steuerung des Abscheideprozesses ermöglichen. Der Reaktor enthält auch einen Stickstoffeintrag, der bei der Abscheidung eine saubere, inerte Umgebung gewährleistet. Die präzise Steuerung der Parameter und Prozesse der Materialabscheidung durch VEECO E300 eignet sich gut für die Herstellung von hochreinen Verbindungen. Seine Einfachheit der Bedienung und hohe Präzision machen es auch für die Forschung geeignet. Alle im Abscheideprozess verwendeten Parameter können in Echtzeit angepasst und überwacht werden, was eine optimierte Qualitätskontrolle ermöglicht.
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