Gebraucht VEECO / EMCORE E300 #9283630 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E300 ist ein Forschungsreaktor mit niedrigem Druck und induktiv gekoppeltem Plasmabearbeitungsreaktor zum Ätzen von Silizium und anderen Materialien der Gruppe IV. Der Reaktor nutzt einen 13,56 MHz Generator, um zusätzlich zu einem Niederdruck (1 mTorr bis 100 mTorr) induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) für Ätz- und Abscheideprozesse eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR) zu erzeugen. Der Reaktor eignet sich zum Ätzen, Abscheiden und Ätzen/Abscheiden mit Schnellglühen (RTA) und bietet auch Niederdruck-EC und schnelle thermische Oxidationsverfahren (RTO). VEECO E300 verfügt über einen Gaskasten für bis zu neun Gase mit zwei ICP-Injektoren und einer Gasfernsteuerung. Der Gaskasten sorgt für eine präzise Steuerung der Plasmaionen- und Radikaldichten, die für ein erfolgreiches Ätzen von Silizium und anderen Materialien der Gruppe IV erforderlich sind, wobei unterschiedliche Materialien unterschiedliche Plasmadichten erfordern. Der fortschrittliche HF-Generator in EMCORE E300 kann fein abgestimmt werden, um optimale Prozessergebnisse auf verschiedenen Materialien zu erzielen. Während die 2kW Stromversorgung einen Prozesskammerdruck von 1 mtorr auf 100 mtorr liefert, gibt eine neuartige Stickstoff-HF-Vorspannungsregelung dem Benutzer die Möglichkeit, die Dichte des Plasmas in der Prozesskammer abzustimmen und erhöht auch die Gleichmäßigkeit des Prozesses. Der Generator ist auch für Hochleistungsabscheidungsprozesse optimiert. Zusätzlich zum HF-Generator bietet E300 eine Druckregelung in Form einer Turbomolekularpumpe (TMP), mit der die gewünschten Verarbeitungsdrücke eingehalten werden können. Ein Doppelpumpendesign ermöglicht einen stabileren Betrieb mit schnelleren Pumpzeiten und besserer Druckregelung. VEECO/EMCORE E300 verfügt zudem über eine einzigartige Spaltkammer-Konstruktion, die die Hauptplasma-Reaktions- und Abscheidekammern von der Kühlkammer trennt. Dies ermöglicht ein schnelles thermisches Glühen (RTA) und andere Hochtemperaturprozesse ohne die Notwendigkeit von doppelten Kühlplenums. Der Reaktor umfasst auch ein integriertes UV-Überwachungssystem, um sicherzustellen, dass der Ätzprozess unter optimalen Bedingungen ist. Das System umfasst eine erweiterte optische Emissionsspektroskopie-Kammer zur Überwachung von Ätztiefe und Gleichmäßigkeit. Insgesamt bietet VEECO E300 ein kostengünstiges Forschungssystem für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien für verschiedene Anwendungen, von Ätzen, Abscheiden und Ätzen/Abscheiden mit RTA bis hin zu Niederdruck-EC- und RTO-Prozessen. Sein überlegener HF-Generator und das Split-Chamber-Design bieten außergewöhnliche Ätzgleichmäßigkeit, verbesserte Geräteausbeute und Prozessreproduzierbarkeit.