Gebraucht VEECO / EMCORE E400 Gold As/P #9155030 zu verkaufen
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ID: 9155030
MOCVD systems
MO Source line : ( Normal x 7 / Dopant x 2 )
CBr4, DEZn,TESb,TMIn-1,TMIn-2, TMAl,TMGa-1,TMGa-2,IBuGa
Hydride source line: AsH3 x 2 ,PH3 x 2 ,Dopant A x 1,Dopant B x 2,Dopant C x 1
Epison III x 2 for TMIn
Currently de-installed
2000-2001 vintages.
VEECO E400 Gold As/P ist ein fortschrittlicher Reaktor für die Dünnschichtverarbeitung und Abscheidung in der Halbleitertechnik. Dieser As/P-Reaktor wurde entwickelt, um sowohl eine hohe Leistung als auch eine kostengünstige Verarbeitung für eine breite Palette von Materialien, einschließlich organischer und anorganischer dünner Filme, zu ermöglichen. Der As/P-Reaktor ist ein vierseitiges Quarzrohr mit einer zweistufigen programmierbaren Plattform. Jede der vier Seiten des Quarzrohres wird durch eine Induktionsspule erwärmt, was eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die erste Stufe der Plattform besteht aus drei Hauptkomponenten, nämlich dem unteren Quarzschild, dem mittleren Quarzschild und der Quarzauskleidung. Der untere Quarzschild schützt und isoliert die Kammer vor der von den Induktionsspulen erzeugten Wärme, während der mittlere Quarzschild die Auskleidung vor dem Brenngas schützt. Die Quarzauskleidung ist die zweite Stufe der Plattform und besteht aus einer Anordnung von Graphit-Ofenelektroden, von denen jede über einen Satz von Drähten mit der Stromversorgung verbunden ist. Die Graphitofenelektroden ermöglichen eine gleichmäßigere, effizientere Abscheidung dünner Filme. Der E400 Gold As/P verfügt außerdem über einen automatisierten Impulsgenerator, der so programmiert werden kann, dass den Induktionsspulen verschiedene Sequenzen von On-Off-Impulsen zur Abscheidung von dünnen Filmen zur Verfügung gestellt werden. Diese Funktion eliminiert jede manuelle Einstellung der Stromversorgung, was die Effizienz und Genauigkeit der Maschine weiter erhöht. Darüber hinaus ist das E400 Gold As/P mit einem eingebauten Kamerasystem ausgestattet, um den Abscheidungsprozess zu beobachten und zu überwachen und Echtzeit-Feedback für alle erforderlichen Anpassungen zu liefern. Das E400 Gold As/P ist ein leistungsstarkes und vielseitiges System, das auf die Bedürfnisse verschiedener Branchen, einschließlich der Herstellung von Halbleiter-, Mikroelektronik-, chemischen und optischen Bauelementen, zugeschnitten ist. Es ist weit verbreitet in Forschung und Entwicklung Laboratorien, sowie Produktionsstätten, aufgrund seiner Fähigkeit, qualitativ hochwertige dünne Filme zu produzieren. Die programmierbare Plattform der Maschine ermöglicht darüber hinaus den Einsatz für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Oxid- und Nitridabscheidung, Metallfilmabscheidung, LED-Herstellung, MEMS-Herstellung und viele andere Prozesse. Die verbesserte Effizienz, Genauigkeit und Qualität des E400 Gold As/P machen es zu einer idealen Wahl für die heutigen industriellen Anwendungen.
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