Gebraucht VEECO / EMCORE E400 #293641832 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E400 Reaktor (auch bekannt als Chemical Vapor Deposition Equipment) ist ein Hochtemperatur, Ultrahochvakuum horizontale Abscheidung System in der Lage, qualitativ hochwertige poly-kristalline und amorphe dünne Filme für Hochtemperatur und andere Anwendungen zu produzieren. Es handelt sich um eine multifunktionale Einheit mit einem reaktiven Ionenätzverfahren zur Herstellung von geätzten Mustern in dielektrischen Schichten sowie einem schnellen thermischen Glühverfahren für amorphe Schichten. VEECO E400 verfügt über ein 4-Zoll-Wafer-Futter mit einer 20-Zoll-Aluminiumkammer und einer mehrachsigen Kenics-Durchführung für die Abscheidungsquellen. Der Druck innerhalb des Reaktors ist einstellbar und erfüllt die Anforderungen an ultrahoche Vakuumabscheidungsprozesse. Der Reaktor umfasst auch Vorabscheidungsoptionen mit einem mechanischen Verschluss, rotierenden Probenmodul und automatisierter Sputtermaschine. Zusätzlich ist EMCORE E400 mit einer Ionenenergiequelle ausgestattet, um das Substrat vor dem Abscheiden und Ätzen zu reinigen und zu aktivieren. E400 Reaktor ist so konzipiert, dass er Superleiter und anderes Hochtemperaturmaterial abscheidet. Die Abscheidungsquelle ist bei Temperaturen bis 400 ° C funktionsfähig. Das Design von VEECO/EMCORE E400 wurde speziell für die Herstellung sehr dünner Materialschichten mit niedriger Abscheidungstemperatur entwickelt, um die höchste Prozesswiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Ionen-Energiequelle ist in der Lage, Ionen-Bombardement bis zu dreimal pro Sekunde, mit einem maximalen Strom von 1-10mA. VEECO E400 ist ein Ultrahochvakuum processDeposition Werkzeug mit der außergewöhnlichen Prozesssteuerung. Es hat die Fähigkeit, eine breite Palette von dünnen Filmmaterialien abzuscheiden, von polykristallin und amorph bis Super Conductor. Die einfache Bedienung, Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Anlage machen sie ideal für Forschung und kommerzielle Anwendungen. EMCORE E400 kann eine Vielzahl von Substratgrößen und Materialien, einschließlich Glas und Quarz, für die Strukturierung und die Abscheidung von hochtemperaturoptischen dünnen Schichten verarbeiten. Das Modell ist weiter anpassbar, indem HF-Optionen und automatisierte Vorreinigungs- und Nachreinigungsmodule hinzugefügt werden.