Gebraucht VEECO / EMCORE E400 #9017783 zu verkaufen
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ID: 9017783
GaAr/InP MOCVD reactors
Set up to run red LED's
Configured for 42x2
One system has a broken robot
1999 & 2000 vintage.
VEECO/EMCORE E400 ist ein Reaktortyp, der für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung und anderen Industrien konzipiert ist. Es handelt sich um ein hochauflösendes Elektronenstrahl (E-Strahl) -Gerät mit einem Energiebereich von bis zu 400 kV und einem Strombereich von bis zu 20 mA. Dieses System ist mit einer ganzen Reihe von anwendungsspezifischen Behandlungen ausgestattet und bietet mit seiner Präzision optimierte Lösungen für die Anforderungen an Diffusion, Implantation, Sputtern und Beschichtung. VEECO- E400 können in einer Vielzahl von Rolleneinstellungen verwendet werden, wobei Konfigurationen sowohl für die Produktion als auch für F&E enthalten sind. Zu den Kernkomponenten dieser Einheit gehören eine 200 mm oder 300 mm Prozesskammer, eine Vakuummaschine, eine Hochleistungs-Elektronenstrahlsäule, eine Galliumnitrid (GaN) Elektronenkanone, eine Feldemissionskathode und ein Strahlstrom-Messwerkzeug. Das Asset ist hochkonfigurierbar und unterstützt zahlreiche Anwendungskombinationen, wie Dotierungs- und Re-Depositionstechniken sowie hochauflösende Bildgebung. EMCORE E400 bietet unübertroffene Präzision in der Elektronenstrahlverarbeitung mit viermal höherer Quellhelligkeit und wesentlich besserer Stabilität als konkurrierende Systeme durch seinen selbstkalibrierenden Elektronenstrahl, der genau und schnell die Energie und Intensität liefert, die für ein- und mehrstufige Prozesse benötigt wird. Diese Funktion, wenn sie mit der aktiven und passiven Strahlstromregelung des Modells gekoppelt ist, erzeugt eine präzise Strahlprofilierung und eine ausgezeichnete Überlagerungsgenauigkeit. Dieses Gerät verfügt auch über hochkontrastvolle Bildgebung, die mit einer breiten Palette von SEM/STEM-Bildgebungsmodi verwendet werden kann. Das System ist auch sehr zuverlässig, mit Hard- und Software entwickelt, um selbst zu überwachen und zu warnen Operatoren, wenn es einen Unterschied in der Leistung. Zu den Sicherheitsmerkmalen gehören programmierbare Leistungsschwellen und eine redundante Kühleinheit. Zu den weiteren benutzerfreundlichen Funktionen gehören ein Menü zur Leistungssteuerung und ein Fernbedienungszugriff, mit dem das Personal die Maschine fernsteuern und überwachen kann. Insgesamt ist E400 ein hochpräziser Elektronenstrahlreaktor, der eine präzise Prozesssteuerung und ein umfangreiches Anwendungsspektrum bietet. Seine beispiellose Benutzerfreundlichkeit und bemerkenswerte Genauigkeit ermöglichen es Anwendern, qualitativ hochwertige Prozessergebnisse zu produzieren, die auf die individuellen Kundenbedürfnisse zugeschnitten werden können.
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