Gebraucht VEECO / EMCORE E400 #9029117 zu verkaufen
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ID: 9029117
MOCVD System
Configured for GaN process
E400 As/P
GaAs: 42" x 2"
(7) MO Source lines
Sources: TMIn-1, TMAl-1, TMAl-2, TMGa-1, TMGa-2, DETe, Cp2Mg
Hydride source line: AsH3, PH3, Dopant A
Epison III for TMIn-1.
VEECO/EMCORE E400 Reaktor ist eine fortschrittliche Art der chemischen Verarbeitungsvorrichtung, die für mehrere Prozesse einschließlich Dotieren, Ätzen und Abscheiden von Materialien verwendet wird. VEECO E400 kann für eine Vielzahl von Prozessen eingesetzt werden, von halbleiterbasierten Anwendungen wie BOSCH, CVD und Ionenimplantation bis hin zur Abscheidung von Materialien wie Metallen und Oxiden. EMCORE E400 ist ein schneller und effizienter Reaktor mit hohem Durchsatz, großen Wendezeiten und einer erstklassigen Prozessqualität. E400 verfügt über ein patentiertes Mehrkammerdesign, das es ermöglicht, höchste Einsätze mit extrem effizienten Raten und niedrigem thermischen Budget zu realisieren. Diese Reaktordesign ist auch leicht nach oben oder unten skalierbar, so dass sie für eine Vielzahl von Prozessen verwendet werden kann. VEECO/EMCORE E400 verfügt über eine heiße Quarzabdeckung an Bord, die sowohl die Plasma- als auch die thermische Verarbeitung unterstützt. Es ist auch mit fortschrittlichen Vakuumtechniken ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Prozesskammer ermöglichen. Darüber hinaus ist der VEECO E400 Reaktor mit einer einstellbaren Hochtemperatur-Energiequelle ausgestattet, die eine kontrollierte Abscheidung von Materialien ermöglicht. Eine fortschrittliche Gasverteilerausrüstung macht es einfach, schnelle Änderungen vorzunehmen und genaue und kontrollierte Gasströme bereitzustellen. Dieser Reaktor ist mit einem zuverlässigen, automatisierten Materialfördersystem ausgestattet, das einfach zu bedienen und effizient ist. Es verfügt zudem über eine robuste Temperaturregeleinheit zur präzisen Abstimmung der Verarbeitungsbedingungen ohne aufwendige Entladung oder Stillstandszeiten. EMCORE E400 wird mit einer intuitiven Menschenmaschine-Wechselwirkungsschnittstelle ausgestattet, die leichte Operation des Geräts erlaubt. E400 ist mit fortschrittlicher Datenerfassungs- und Analysesoftware ausgestattet, die Anwendern hilft, ihre Verarbeitungsergebnisse auszuwerten und mögliche Verarbeitungsprobleme zu erkennen. Diese Funktion macht VEECO/EMCORE E400 zu einem zuverlässigen und konsistenten Reaktor, der konsistente und wiederholbare qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielen kann. Im Allgemeinen ist VEECO E400 ein fortschrittlicher und effektiver Reaktor, der sich gut für halbleiterbasierte Anwendungen eignet. Es ist ein All-in-One-Gerät, das hohe Effizienz, präzise Steuerung und zuverlässige Leistung mit einer robusten und zuverlässigen benutzerfreundlichen Oberfläche kombiniert. EMCORE E400 ist ein unschätzbarer Bestandteil jeder chemischen Verarbeitungsmaschine, die ihre Produktions- und Verarbeitungsergebnisse optimieren möchte.
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