Gebraucht VEECO / EMCORE E400 #9047867 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E400 ist ein epitaktischer Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) Reaktor entwickelt, um zusammengesetzte Halbleitermaterialien wie Galliumarsenid, Indiumphosphid und Aluminiumgalliumarsenid zu verarbeiten. VEECO E400 ist ein Mehrzonen-, Horizontal-Rohr-Durchflussgerät, das eine höhere Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet als Einzonensysteme mit viel geringerem Platzbedarf. Die inneren heißen Zonen des Reaktors sind von zwei Vorwärmezonen umgeben. Die heißen Zonen können über eine integrierte Fernbedienung individuell auf Temperaturen von 100 bis 1000 ° C erwärmt werden. Die heißen Zonen sind durch einen oberen und unteren Kühlhohlraum getrennt, der für die Kühlung von heißen Zonen während der Prozessläufe ausgelegt ist. EMCORE E400 verfügt auch über Mehrpunkt-Steuerung, die eine präzise Temperaturregelung über die gesamte Palette der Benutzer eingestellt und überwacht Bedingungen ermöglicht. Der Reaktor sorgt zudem für eine effiziente und hochwiederholbare Prozesssteuerung mit ausgezeichneter Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit abgeschiedener Folien. E400 verfügt über eine einzigartige Dual-Inlet-Konstruktion, die eine unabhängige Steuerung der Träger- und Reaktantgase sowie eine unabhängige Steuerung sowohl des Gasdrucks als auch des Durchflusses ermöglicht. Dadurch wird eine gleichmäßige Gasverteilung im gesamten Reaktor gewährleistet, was zu einer erhöhten Folienqualität und Gleichmäßigkeit führt. VEECO/EMCORE E400 verfügt auch über einen integrierten Hochfrequenz-Plasmagenerator, der eine erhöhte Abscheidungsrate, Filmgleichmäßigkeit und verbesserte Filmeigenschaften ermöglicht. Diese Einheit hilft auch, die Verschmutzung des Reaktors zu reduzieren und konstante Leistung auf Spulen und Substraten zu erhalten. Der Reaktor weist außerdem ein zusätzliches Plasma-Vorionisationsmerkmal auf, das die Abscheiderate reduziert und Verunreinigungen aus dem Prozess entfernt. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine optionale Spalt-Düsen-Injektorbaugruppe für erhöhte Prozessgleichförmigkeit. Diese innovative Integration eines Injektors mit fester Düse hilft, den Stickstoffverbrauch zu reduzieren, die Stabilität des stationären Prozesses zu erhalten und die Wiederholbarkeit des Prozesses zu maximieren. Insgesamt bietet VEECO E400 Reaktor den Anwendern verbesserte und wiederholbare Geräteattribute, Prozessgleichförmigkeit und fein abgestimmte Steuerungsfunktionen. Die Maschine hält während des gesamten Prozesses konstante Gasdrücke aufrecht und gewährleistet eine gleichmäßige und wiederholbare Abscheidungsqualität. Der Zusatz von Plasmagenerator, optionalen Injektoren und unabhängig gesteuerten Hot-Zonen bietet Anwendern mehr Genauigkeit und Kontrolle über den MOCVD-Prozess und sorgt für eine optimale Geräteleistung bei jedem Lauf.