Gebraucht VEECO / EMCORE E400 #9302576 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E400 Reactor ist ein universelles Reaktorwerkzeug für den Einsatz in verschiedenen Dünnschichtwachstumsanwendungen. Dieser Reaktor ist ein vertikal ausgerichtetes System, das ein außergewöhnliches Leistungsniveau mit der Fähigkeit erreicht, eine Reihe von Anwendungen zu unterstützen, einschließlich Formen, Ätzen, Materialabscheidung und Glühen. Sein einzigartiges Design besteht aus drei Wärmezonen - einer Hochtemperaturzone (typischerweise 250 - 600 ° C), einer Mitteltemperaturzone (typischerweise 100 - 400 ° C) und einer Tieftemperaturzone (typischerweise 50 - 300 ° C). Diese Zonen sind unabhängig voneinander, sorgen für eine präzise Temperaturregelung und ermöglichen Tieftemperaturprozesse gleichzeitig mit den laufenden höheren Temperaturprozessen. Der Reaktor hat eine einzigartige symmetrische Flansch-Typ Lastverschluss-Design, das unterschiedliche Substratgrößen und Relativbewegung zwischen den Quellen und Substraten ermöglicht. Dies erhöht die Flexibilität des Werkzeugs und ermöglicht die Abscheidung von Folien auf nicht quadratischen Substraten, wie Satelliten oder anderen zylindrischen Substraten. Das Dual-Bay-Design von VEECO E400 ermöglicht eine höhere Prozessflexibilität, da mehr Prozesse gleichzeitig durchgeführt werden können, ohne auf Leistung oder Produktivität zu verzichten. EMCORE E400 verfügt auch über eine breite Palette von Prozesskammer Fähigkeiten, einschließlich Niederdruck/Hochdruck-Hochleistungs, Niederdruck/Hochdruck-Taschenlampe, Gleichstrom (Gleichstrom) und HF (Hochfrequenz) Sputter Abscheidung, ionisierte physikalische Dampfabscheidung (iPVpacd), organische chemische Dampfabscheidung Die neue Hot Re-Verpackungsfähigkeit ermöglicht eine schnellere Materialabscheidung in einer Vielzahl von Prozessen. Zusätzlich weist der Reaktor eine schnelle Gasdruckänderungsrate von mehr als 1000 Torr/sec auf, die qualitativ hochwertige Prozessergebnisse liefert. E400 Reaktor ist ein High-End-Werkzeug, das sich ideal für die Entwicklung von Produkten der nächsten Generation eignet, die großflächige Substrate, eine hochpräzise Filmabscheidung, einen erhöhten Materialdurchsatz oder hohe Leistungsfähigkeit benötigen. Dank des fortschrittlichen Thermomanagements und der Einheitlichkeit, der Flexibilität in mehreren Zonen, des hohen Durchsatzes, der Kompatibilität bei niedrigen Temperaturen und der leistungsstarken Funktionen ist es eine attraktive Lösung für viele Anwendungen, bei denen Leistung oder Effizienz eine Priorität sind.