Gebraucht VEECO / EMCORE E400 #9395073 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E400 Reactor ist ein fortschrittliches Halbleiterherstellungswerkzeug, das verwendet wird, um eine Vielzahl von verschiedenen photonischen integrierten Schaltungen zu erstellen. Es wird typischerweise bei der Konstruktion und Herstellung von komplexen photonischen integrierten Schaltungen wie optischen Halbleiterverstärkern, Mach-Zehnder-Interferometern und DFB-Lasern verwendet. VEECO E400 Reactor ist in der Lage, bis zu 300 mm Wafer herzustellen, so dass es bei der Herstellung von kleinen photonischen Geräten wie VCSELs und HD-LEDs verwendet werden kann. EMCORE E400 Reactor verwendet ein Mehrzonen-Mehrstufenverfahren, das ein Ultrahochvakuum, Photolithographie, eingebettete Abscheidung und ein reaktives Ionenätzsystem umfasst. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Abscheidung der Folienschichten und das Ätzen der Strukturen. E400 Reaktor ist in der Lage, feine Eigenschaften bis zu 0,25 μ m und Eigenschaften Seitenverhältnisse von bis zu 10:1 zu produzieren. VEECO/EMCORE E400 Reactor verwendet eine Vielzahl von Quellen und Detektoren, um die genaueste Abscheidung aller bei der Herstellung verwendeten Materialien zu gewährleisten, von Metallen bis zu Dielektrika. Das System enthält vier säulenmontierte Quarzlampen, die breitbandige UV-Belichtung produzieren, während 19 ultraviolette Laserdioden verwendet werden, um Linienabtastung für hochpräzise Musterung zur Verfügung zu stellen. Die Laserdioden ermöglichen auch die Belichtung mehrerer Schichten gleichzeitig, was eine Hochleistungs-Industrieproduktion mehrerer photonischer Bauelemente ermöglicht. VEECO E400 Reactor enthält auch ein Gaseinspritzsystem zur CVD-Abscheidung von Dünnschichtmaterialien. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses und sorgt dafür, dass konsistente Filmeigenschaften erreicht werden. EMCORE E400 Reactor enthält auch eine Hochgeschwindigkeitsturbine zum schnellen Ätzen von Substratoberflächen, um Funktionen mit hohem Seitenverhältnis zu schaffen. Insgesamt ist E400 Reactor ein fortschrittliches Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von photonischen integrierten Schaltungen präzise herzustellen. Es ist sehr genau, mit proprietären Quellen und Detektoren, die eine präzise Abscheidung von dünnen Filmen ermöglichen, während eine Hochgeschwindigkeitsturbine ein schnelles Ätzen von Materialien ermöglicht. Dieses hochmoderne Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von photonischen integrierten Schaltungen im industriellen Maßstab mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit zu produzieren.