Gebraucht VEECO / EMCORE E450 #9255826 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E450 ist ein horizontaler, warmwandiger RIE-Reaktor (Reactive Ion Etching) für die Waferbearbeitung. Es ist in der Lage, 4-Zoll, 6-Zoll und 8-Zoll-Wafer zu verarbeiten. VEECO E450 verfügt über eine automatische Wafer-Handhabung, die ein schnelles Be-/Entladen und präzises Ein-/Auslegen eines Wafers in die Reaktorkammer ermöglicht. Die Mindesttemperatur der Kammer beträgt 25 ° C und ermöglicht eine präzise Temperaturregelung beim Ätzen. EMCORE E450 hat eine Metallrohrkonstruktion und ist für den Einsatz in einem Doppelgehäuse mit einer inerten (nicht-reaktiven) Gasspülumgebung konzipiert, die das Ätzen einer Vielzahl von Materialien mit minimalem Kontaminationsrisiko ermöglicht. Der Reaktor ist für den Betrieb mit einer Vielzahl von Gasen ausgelegt, darunter O2, Ar, SF6, Cl2, BCl3 und kombinierten Gasen. Die geringe Partikelverschmutzung ermöglicht die Herstellung von IC-Mikrochips mit hohen Ausbeuten und Produktqualität. Das System verfügt über eine nachgeschaltete Gasfördereinheit, die eine stabile Zufuhr von hochreinen Reaktiv- und Prozessgasen gewährleistet. Die Substratkonfiguration ermöglicht eine Vielzahl von Prozessparametern wie Druck, Strömung, Temperatur, Gasmix und Leistung, um den Ätzprozess für die gewünschte Anwendung zu optimieren. E450 verfügt auch über VUV (Vacuum Ultra Violet) und HF (Radio Frequency) Netzteile, die eine präzise Kontrolle der Prozessbedingungen ermöglichen und eine gute Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit garantieren. VEECO/EMCORE E450 ist eine zuverlässige und robuste Reaktormaschine, die zum Ätzen einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Silikaten und Polymeren entwickelt wurde. Es liefert robuste Ergebnisse, die hohen Leistungsstandards entsprechen und eine saubere und präzise Ätzung gewährleisten. Der Reaktor ist ein benutzerfreundliches Werkzeug und bietet eine einfache Benutzeroberfläche für eine schnelle Einrichtung und programmierbare Parameter für die Prozessoptimierung. All-around, VEECO E450 ist eine zuverlässige und leistungsfähige Ressource, so dass es eine gute Wahl für die Produktion in der Halbleiterbauelementfertigung.