Gebraucht VEECO / EMCORE E450 #9283612 zu verkaufen

VEECO/EMCORE E450 Reaktor ist eine hochpräzise Plasmaätzanlage für Halbleiteranwendungen. Das System ist für die Herstellung von Festkörpergeräten, Optoelektronik und optischen Systemen konzipiert. VEECO E450 bietet höchste Leistung und präziseste Ätzprozesse in der Branche. Die Plattform bietet eine Vielzahl von Parametern, Präzision, Stabilität, Selektivität und Wiederholbarkeit für eine verbesserte Prozesssteuerung. EMCORE E450 verfügt über ein fortschrittliches Plasmaquellendesign, das eine gleichmäßige Gasplasmadichte über die gesamte Waferebene bietet. Diese Fähigkeit ermöglicht dem Gerät eine optimale Ätzleistung über eine Vielzahl von Gerätedesigns. Der Quellentwurf ermöglicht es der Maschine, hohe Ätzraten mit niedriger Ionenenergie und genauer Ätzbreitensteuerung zu liefern. E450 ist so konzipiert, dass sie bei hohen Drücken effektiv arbeitet und präzise Ätzselektivität bietet. Das Werkzeug kann so konfiguriert werden, dass es mit einer Vielzahl von Gasen arbeitet, darunter F2, C4F8, SF6, NF3 und CHF3, was eine vielseitige Ätzplattform bietet. Darüber hinaus ist VEECO/EMCORE E450 in der Lage, hohe Ätzraten bereitzustellen, ohne große Plasmainstabilitäten zu erzeugen. Das integrierte VEECO E450 Asset umfasst ein ausgeklügeltes Gasversorgungspaket, einen hochpräzisen Mechanismus zur Lieferung der zentralen Elektrode an die Waferebene beim Ätzen und eine integrierte Hardware-Schnittstellenplattform. Die Plattform wurde entwickelt, um eine nahtlose Integration mit anderen Modellkomponenten zu ermöglichen. Dadurch kann der Reaktor in einer Vielzahl von Prozesseinstellungen wie Batch- und Single-Wafer-Verarbeitung betrieben werden. Der hochpräzise Mechanismus ermöglicht das genaue und wiederholbare Ätzen von Mikrostrukturen. Der Mechanismus ist auch in der Lage, die zentrale Elektrode auf die Waferebene zu liefern, bietet optimierte Ätzprofile und verhindert Kantenperlen. Darüber hinaus wurde die Plattform EMCORE E450 entwickelt, um Niederspannungs-Wafer-Scans mit hochpräziser Bewegungssteuerung für präzise Profilstrukturen bereitzustellen. E450 Plattform bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesssteuerungs- und Diagnosefunktionen. Es ist auch für die Schnittstelle mit einer breiten Palette von Zubehörgeräten wie Massenspektrometern, Druckreglern und Temperaturreglern konzipiert, die einen vielseitigen Betrieb ermöglichen. Das System kann so konfiguriert werden, dass es eine vollständige Integration mit einem externen Netzwerk für die Datentelemetrie ermöglicht. Die VEECO/EMCORE E450 Plattform wurde entwickelt, um einen höheren Durchsatz und verbesserte Erträge zu ermöglichen. Das Gerät bietet automatisierte Start- und Abschaltfunktionen, ermöglicht es Benutzern, Ätzergebnisse in Echtzeit zu überwachen und liefert statistisches Feedback zur Prozesssteuerung. Die vielseitige Maschine verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Bediener Prozessvariablen überwachen und steuern können. Darüber hinaus können Benutzer Daten für eine spätere Überprüfung und Analyse speichern. Insgesamt bietet die VEECO E450 Plattform eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen und Funktionen, die sie zu einem idealen Werkzeug für präzise Ätzanwendungen machen. Der hochpräzise Mechanismus, das fortschrittliche Design von Plasmaquellen und die integrierte Prozesssteuerung und -überwachung machen das Werkzeug ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Optoelektronik und optischen Systemen.