Gebraucht VEECO / EMCORE E450 #9394988 zu verkaufen
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ID: 9394988
Weinlese: 2008
System
Process: GaAs
Product: GaAs LED (Red and yellow)
Config: TMAl, TMGa, TMIn, AsH3, PH3, Mg, Si
Spare parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 1092679 / 50x2" Pockets wafer carrier
(1) / 1090650 / 13x4" Pockets wafer carrier
(1) / 1090581 / 21x3" Pockets wafer carrier
(5) / 1091270-1016-D-B / MFCs 30 SLM
(3) / - / PLC Control circuit boards
(4) / - / Filters
(1) / 1003794 / Heater base E400
(1) / 1016491 / Baffle EII
(1) / 1003780 / E400/E300 Spindle
(1) / 1016306 / Bottom heat shield EII
(1) / 1016307 / Top heat shield, EII
(1) / 1029697 / E450 Filament, outer
(1) / 1005630 / E400 Filament, middle
(1) / 9406E01 / ISOI00 Turbo pump
(1) / 1005552 / -
(1) / 1022551-1003 / E450 Screen diffusion, (2) Port photo ETC
(1) / 1022549 / Ring reactant level
(4) / 1003641 / Outer ring segment 9400 Flow flanges
(1) / 1002115 / VlV Gate pneu, 4"
(1) / 1016457 / E11 Susceptor moly
(3) / 1084355 / MKS 1000T CT27 Baratron, DNET
(4) / 1004766 / Feed through linear motions, 2.75 modification
(1) / 1003932 / Graphite bushing assembly
(4) / 1094048 / Bracket mounting holy shutter
(7) / 9472E01 / Control SSP, 15 Amp, 200-240 V
(8) / 1016309 / 9400 Heater support
(1) / 1013965 / k400 Heater support
(6) / 1005612 / Electro particle shield
(1) / 6403E02 / Fuse sub mini, 3A
(2) / 1003680 / MKS 1000 Torr
(1) / 1026320 / Drive motor, 1/3 HP, 180V, CDP3316 Baldor
(4) / 1004103 / E400 Baffle support
(2) / 1016308 / Electrode connector block outer heaters
(4) / 1003039 / Gaskets silver, 2.75 inch
(2) / 10446 / Gasket Cu Gr, 2.75 x 20.0 Belo/Bon
(4) / 1015365 / VCR Filter, (20) Microns
(24) / 1017391 / Screws
(24) / 6030E01 / Screws
(16) / 6099E03 / -
(16) / 1017391 / Screws
(6) / 6030E04 / Screws
(1) / 1084220-1002 / Screw
(16) / 1084220-1003 / Screws
(6) / 1017392 / Screws
(3) / 6045E01 / Screws
(1) / 6012E02 / Screw
(8) / 6094E03 / Washer locks
(1) / 1022820 / O-Ring, 30"
(1) / 1025867 / O-Ring
(1) / 1084972 / E450 Reactor insert holy
(1) / 10447 / Gasket
(1) / 1002703 / Ball valve, 4"
2008 vintage.
VEECO/EMCORE E450 Reactor ist eine Oberflächenmontageausrüstung für den Abscheidungsprozess von Dünnschicht- und Halbleitermaterialien. Es verfügt über eine 3,3 kW Elektronenstrahlkanone und eine 5,5 kW Hochfrequenzquelle als Standardkonfiguration. VEECO E450 bietet eine breite Palette von Betriebsparametern, darunter einen Bereich zwischen 0,2 und 800 W Leistung, Bereich der Substrattemperatur von 20 bis 400 Grad Celsius und Kammerdruck von 10-6 bis 10-7 mbar. Die HF-Plasmaquelle erzeugt eine Steuerung des Filmabscheidungsprozesses und hat die höchste für das Filmwachstum verfügbare Frequenz. Es bietet ultrahohe Vakuumqualität, die internationale Standards übertrifft. Darüber hinaus hat EMCORE E450 kürzlich ein neues PC-Steuerungssystem eingeführt, das die Betriebseffizienz erhöht und die Wartungskosten senkt. Mit seinen fortschrittlichen und verbesserten Elementen können E450 für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, darunter schnelle thermische Verarbeitung, Photolithographie, chemische Dampfabscheidung, Sputtern und Dünnschichtabscheidung. Darüber hinaus ist dieses Reaktormodell sehr flexibel, da es mit mehreren Kammern für eine Vielzahl von Prozessentwicklungen konfiguriert werden kann. Das System verfügt auch über unbegrenzte Programmspeicherkapazität, Echtzeit-Anzeige von Vakuumdaten, Zyklusablauffähigkeit und eine grafische Benutzeroberfläche. VEECO/EMCORE E450 Reactor ist eine effiziente und benutzerfreundliche Lösung, die Kosten minimiert, indem der Bedarf an mehreren Maschinen für verschiedene Technologien reduziert wird. Das fortschrittliche Design und die flexiblen Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Reihe von Anwendungen und ermöglichen schnelle Durchlaufzeiten. Die intuitiven Bedienelemente bieten Anwendern eine exakte Kontrolle über Prozessparameter und sind somit ein ideales Werkzeug für Forschung und Produktion. Mit der Einführung von VEECO E450 Reactor können Anwender eine höhere Produktivität und Zuverlässigkeit bei gleichzeitiger Reduzierung von Kosten und Energieverbrauch erwarten.
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