Gebraucht VEECO / EMCORE K465 #293768283 zu verkaufen
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ID: 293768283
Weinlese: 2007
MOCVD System
(2) Heat exchangers
(2) Dry pumps
(4) Boxes
(2) Exhaust exchangers
Filter
Frame
Growth chamber
L Chamber
2007 vintage.
VEECO/EMCORE K465 Reaktor ist eine vielseitige feste Quelle Molekularstrahl Epitaxie (MBE) Plattform für Halbleiter Dünnschichtabscheidung und Materialcharakterisierung. Das Gerät ist für die Erforschung und Entwicklung fortgeschrittener Verbundhalbleiterbauelemente wie z.B. photonische integrierte Schaltungen und Laserdioden konzipiert. VEECO K465 ist als Standardsystem mit einer einzigen Quelle oder als fortgeschrittene Plattform mit zwei oder mehr Effusionszellen konfigurierbar, sowie Unterstützungskomponenten wie Massenstromregler, eine Gasfördereinheit und ein Entlüftungs-/Spülmodul. Die Standardversion hat eine kleine Kammergröße von 14 Zoll mal 14 Zoll und einen maximalen Druck von 1E-7 Torr. Die Kammerkomponenten sind aus Edelstahl und UHV-Klasse CF-Flansche gebaut, um eine hervorragende Leistung in ultrahochen Vakuumanwendungen zu gewährleisten. Der Boden der Kammer wird verwirrt, um den molekularen Fluß zu enthalten und die Gaskonvektion zur Probe zu reduzieren. Das Heizelement basiert auf einem Einbettelement aus keramisch ausgekleidetem Edelstahl und weist einen Temperaturbereich von 25 ° C bis 1000 ° C auf. Die Kammer ist für die maximale Ausnutzung des zur Verfügung stehenden Raumes zur Probenbeladung ausgelegt und mit einem automatisierten Probenlader in Viererposition und einer Karussellmaschine ausgestattet. Die EMCORE K465 Plattform ist auch für den Umgang mit verschiedenen reaktiven Gasen konzipiert und kann mit einem VEECO proprietären Gaslieferwerkzeug für eine sichere und präzise Gassteuerung und -strömung ausgestattet werden. Mit der Dual-Source-Option kann der Benutzer mehrere Quellmaterialien auswählen und für die Co-Deposition und Split-Modi unabhängig konfigurieren. Die Prozessleitsysteme sind für die automatisierte Optimierung und Überwachung ausgelegt. Eine einzigartige Massenstrom- und Partialdrucksteuerung (MPPC) bietet eine präzise Steuerung: So wird die Stabilität der Prozessraten gewährleistet und eine häufige Kalibrierung entfällt. Das Modell ist auch mit optischen und Röntgendiagnostikfunktionen ausgestattet, um die optischen Eigenschaften und das Wachstum der Halbleiterepitaxieschichten in der Kammer zu messen. Die optische Lasereinrichtung zeichnet sich durch eine verbesserte räumliche Auflösung und Spektralanalyse zur Messung von ALD (Atomic Layer-Deposition) -Filmdicken und Brechungsindizes aus. Andere fortschrittliche Techniken wie Raman- und VUV-Emissionsspektroskopie stehen für die wesentliche Erforschung der molekularen Schichtabscheidung zur Verfügung. Die Systemsicherheit wird durch eine Stickstoffrückfüllanlage gewährleistet, um Luft- und Sauerstoffverunreinigungen zu vermeiden. K465 Reaktor ist so gebaut, dass er verschiedene Substrate aufnimmt, darunter Wafer, Keramikplatten und Faltenbehälter. Das MBE-Tool ist zuverlässig, effizient und bietet eine hervorragende Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen von Verbundhalbleitermaterialien.
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