Gebraucht VEECO / EMCORE K465i GaN #9180276 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9180276
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2012
MOCVD System, 8"
Wiring requirement:
(5) Wires
Ground and neutral included
Main power: Top or bottom of system
UPS Input location: Top of system
Amperes interrupting capacity (A/C): 25 kA
Short circuit current rating (SCCR): 10 kA
Electrical requirements:
Voltage: 380 ± 10% VAC
Maximum current: 280 A
Frequency: 50/60Hz
Idle power: 20 kW
Nominal power: 118 kW
Peak power: 145 kW
2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i GaN (Galliumnitrid) Reaktor ist ein spezialisierter Reaktor, der es Forschern ermöglicht, Experimente mit den einzigartigen und vorteilhaften Eigenschaften der Verbindung durchzuführen. Der K465i Reaktor ermöglicht eine effiziente Abscheidung hochwertiger III-V-Nitrid-Verbundmaterialschichten für eine Vielzahl von Geräteanwendungen. Es ist mit optimierten Prozesskontrollfähigkeiten ausgestattet, die es Forschern ermöglichen, ihre Materialabscheidungsausbeute und -abscheidungsraten zu erhöhen und gleichzeitig Stress zu reduzieren und eine bessere Kontrolle des Prozesses zu ermöglichen. Der K465i Reaktor ist zwei- oder dreistufig mit einer 30 cm breiten, 5 cm hohen, ringförmigen Reaktionskammer aufgebaut. Dies ermöglicht es, eine Vielzahl von Prozessanwendungen mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) oder DC-Magnetron-Sputtern zu unterstützen. Darüber hinaus verfügt das K465i über eine revolutionäre Mischung aus effizienten Gasfördersystemen und reaktiver Gasströmungsregelung, die eine präzise Prozesssteuerung ermöglicht. Das einzigartige Design des K465i bietet Forschern hochwertige Materialabscheidungsraten und Gleichmäßigkeit bei minimaler Materialspannung. Mit diesem Reaktor sind aufgrund seiner optimierten Schichten Merkmalsgrößen bis unter 20 nm erreichbar. Darüber hinaus haben Forscher die Fähigkeit, das Prozessrezept fein abzustimmen und die Prozessstabilität durch den Einsatz seines proprietären fortschrittlichen Prozesskontrollpakets zu erhalten. Die K465i bietet zudem ein beispielloses Maß an Prozessautomatisierung und Prozessüberwachung. Eine integrierte Diagnosesuite gibt Einblick in die Kammerumgebung, während ein umfassendes Softwarepaket wiederholbare Prozesse und automatisierte Prozesssteuerung ermöglicht. Diese Tools können verwendet werden, um den Zeitaufwand für die Entwicklung kompletter Prozesse zu minimieren. Der K465i Reaktor ist der einzige handelsübliche Reaktor, der die Breite der Forschung und Anwendung in Nitrid III-V-Materialien bietet. Mit fortschrittlicher Steuerung, automatisierter Überwachung und optimierten Gasfördersystemen ist dieser hochmoderne Reaktor die ideale Wahl für Forschung und Entwicklung innovativer Nitrid-Material-Halbleiterbauelemente.
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