Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #293585758 zu verkaufen
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ID: 293585758
Weinlese: 2011
MOCVD System
MKS MFC Type
EBARA ESA25 Dry pump
Hydride line
DRT
(2) Chillers
(2) RT
(4) Baths
(7) Alkyl lines
Heater voltage: 380 V
2011 vintage.
VEECO/EMCORE K465i Reactor ist ein hochmodernes matero-elektronisches Produktionswerkzeug, das für die Massenproduktion von Geräten in der Halbleiter- und anderen Industrien entwickelt wurde. Der Reaktor nutzt ein Hochspannungsplasma, das die Herstellung von ionenimplantierten Geräten ermöglicht. Das Werkzeug verfügt über eine Active-Area-Steuerung (AAC), die es dem Bediener ermöglicht, die Implantatparameter zu steuern. Das Design bietet auch eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Füllung. Der VEECO K465i Reaktor ist für Hochspannungen zwischen (+) 75 und (-) 75 kV ausgelegt. Dies ermöglicht eine hohe Ionenbeschleunigung, die eine breite Palette von Ionenimplantationen für verschiedene Materialien und Temperaturen bietet. Das Design beinhaltet auch das mehrachsige Scannen des Wafers, das die Herstellung unterschiedlichster Aktivflächenformen ermöglicht. Zusätzlich verwendet das Werkzeug ein XP-27 Abscheidungssystem und eine DC-450 Evakuierungskammer, um eine ausgezeichnete Waferreinheit unter Hochvakuumbedingungen zu gewährleisten. Der EMCORE K465i Reaktor ist auch mit einer Enhanced Photon Source (EPS) für ultraviolette Beleuchtungen ausgestattet. Diese Quelle ermöglicht eine breite Palette von Umweltkristallisationsverfahren für Materialien wie Silizium, GaAs und GaN. Das Tool bietet zudem einen hohen Peak-Ionenfluss von bis zu 8.000 Ionen/cm2, der auch bei kleinsten Submikron-Funktionsgrößen einen hohen Durchsatz ermöglicht. K465i Reaktor bietet auch eine automatische Wafer-Verfolgung, um eine hohe Genauigkeit des Betriebs des Werkzeugs zu erleichtern. Es beinhaltet eine umfangreiche Wafer-Mapping-Fähigkeit, die die genaue räumliche Lage der Wafer identifizieren kann und automatisch die optimalen Parameter für jede Belichtung wählt. Dies reduziert die für die Vorkalibrierung erforderliche Zeit und sorgt für maximale Ausbeute. VEECO/EMCORE K465i Reaktor verfügt auch über eine erweiterte eingebettete Benutzeroberfläche, die den Einrichtungs- und Betriebsprozess vereinfacht und zuverlässige Informationen über die Prozessparameter, die Gerätediagnose und andere wichtige Leistungsindizes liefert. Das Werkzeug wird auch mit einem weichen Wartungssystem geliefert, das dem Bediener eine Echtzeit-Sicht auf die Operation gibt und die Unterstützung erleichtert. Insgesamt ist VEECO K465i Reactor ein ausgezeichnetes und zuverlässiges Produktionswerkzeug, das sich ideal für die industrielle Produktion von Großserienscheiben eignet. Sein breites Spektrum an Funktionen macht es zu einer idealen Wahl für hohe Serienproduktion und wiederholbares Qualitätsergebnis.
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