Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #293587159 zu verkaufen

Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 293587159
MOCVD System.
VEECO/EMCORE K465i ist ein Reaktortyp zur Herstellung von Halbleitermaterialien und -bauelementen. Es ist eine chemische Dampfabscheidung (CVD) Ausrüstung, die qualitativ hochwertige und zuverlässige Ergebnisse für verschiedene Anwendungen liefert. Es integriert eine Prozesskammer, eine Zweizonen-Quarzsublimationsquelle, zwei Massen und zwei VEECO-Brennermodi in einem System. Die Prozesskammer hat eine Abmessung von zwei Fuß und ist der Hauptdruckbehälter für VEECO K465i. Die Kammer ist mit einer Vakuummaschine, Prozessdruckmessung und Steuerungsmöglichkeiten ausgestattet. Die Quarzsublimationsquelle, bestehend aus Quell- und Abgassystemen, befindet sich innerhalb und am Boden der Kammer. Die zweizonige Quarzkristallisationsquelle verdampft in die Kammer eingelegtes Material und erzeugt bei Erwärmung eine gleichmäßige Temperaturverteilung. Dies sorgt für gleichmäßige Temperaturen über den gesamten Substratbereich, was zu einer verbesserten Filmgleichförmigkeit führt. Das Doppelmassenwerkzeug von EMCORE K465i ermöglicht Hochtemperaturreaktionen in einer Zone und Niedertemperaturreaktionen in einer anderen Zone. Der EMCORE-Brennermodus verwendet ein Magnetfeld, um einen gleichmäßigen Fluss von Vorläufergasen unter Beibehaltung eines stabilen Drucks und einer stabilen Temperatur zu erzeugen. Dadurch wird sichergestellt, dass genaue Ergebnisse erzielt werden können. K465i Reaktor hat auch die Fähigkeit, eine breite Palette von Substrattemperaturen, Druck und Gaschromatographen Messwerte zu überwachen. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem geregelten Druckbereich ausgestattet, der eine automatische Regelung optimaler Prozessparameter ermöglicht. Das Modell umfasst auch erweiterte Funktionen zur Datenarchivierung, grafischen Darstellung und Bildgebung, mit denen Benutzer die Prozessleistung auf einen Blick überwachen können. Abschließend ist VEECO/EMCORE K465i ein effizienter und effektiver Reaktor, der zuverlässige Ergebnisse für verschiedene Fertigungsanwendungen liefert. Es verfügt über eine Prozesskammer, Zwei-Zonen-Quarz-Sublimationsquelle, Dualmassenausrüstung und VEECO/EMCORE-Brennermodus. Seine Überwachungsfunktionen und erweiterten Datenverwaltungsfunktionen bieten Benutzern die Möglichkeit, sicherzustellen, dass die Prozessergebnisse konsistent und genau sind.
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