Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9045105 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9045105
Weinlese: 2010
GaN MOCVD system
Includes:
Insitu: (1) DRT + (2) RT
(6) Bubbler slice (TMAI, TEGa, TMGa Cp2Mg, TMIn#1,TMIn#2)
(5) Source bath (Model E212)
(2) Piezocon control (TMIn#1,TMIn#2)
In-line purifier: N2, NH3
Gas purification: H2
Software: Nexus v3.05.02
Flowflange maintenance jig: Excluded fork lift
2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i verkörpert den modernen Fortschritt in hocheffizienten Plasmabearbeitungsanlagen. Dieser anspruchsvolle Industriereaktor vereint außergewöhnliche Leistung und Eigenschaften von zwei Marktführern, VEECO und EMCORE, um eine umfassende und vollständig integrierte Ausrüstung zu schaffen, um den Prozessdurchsatz für eine Vielzahl von Elektronik- und Werkstoffanwendungen drastisch zu erhöhen. VEECO K465i wurde entwickelt, um robuste und zuverlässige Verarbeitungsleistung zu bieten, mit seiner Fähigkeit, einen umfassenden Bereich von Ätz- (ohne, dielektrisches, passiviertes Metall) und Abscheidungsprozessen (CVD) bei hohen Durchsatzraten zu betreiben. Sein robustes, offenes Design ermöglicht maximale Flexibilität für jede kundenspezifische Prozessentwicklung und -steuerung, sorgt für eine steile Lernkurve und minimiert die Time-to-Market. EMCORE K465i verfügt über ein revolutionäres patentiertes Design mit zwei einzigartigen Verarbeitungskammern. Diese Kammern beherbergen mehrere elektromagnetische Source-Spulen, die bis zu 512 Ampere und einen HF-Wellenleiter mit bis zu 500W Leistung bereitstellen können. Durch die vielseitige Verarbeitungsflexibilität dieser leistungsstarken Quellkonfiguration ist dieser Reaktor in der Lage, Substratgrößen bis 300mm mit hervorragender Gleichmäßigkeit weit über herkömmliche Rohrreaktoren hinaus zu verarbeiten. Die thermoelektrisch gekühlte Kammer verhindert beim Ätzen Nebenwirkungen zwischen Substratscheiben und ermöglicht höhere Substratausbeuten und Durchsatzraten. Darüber hinaus bietet das geschlossene Prozessleitsystem eine umfassende Echtzeit-Prozesssteuerung und -überwachung und gewährleistet eine vollständige Anpassung der Endprodukte. Diese Überwachungseinheit verhindert versehentliche Prozessdrifts durch menschliche Fehler oder unerwartete Materialeigenschaften. K465i verfügt auch über erweiterte Diagnose und Maschinenschutz. Die erweiterten diagnostischen Sensortechniken ermöglichen es Benutzern, innerhalb der Spezifikation zu sehen, was der Prozess tatsächlich tut. Dies ist besonders hilfreich, um Ausfallzeiten zu reduzieren und die Produktionskosten einzudämmen und die Ertragsoptimierung zu unterstützen. Darüber hinaus sorgen die innovativen Sicherheitssysteme für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb auch bei hohen Leistungsdichten. VEECO/EMCORE K465i ist ein hervorragendes Beispiel für fortschrittliche Reaktortechnologie, da es die ultimative Kosteneffizienz für eine breite Palette von industriellen Verarbeitungsanwendungen bietet. Die kompakte Stellfläche, hohe Flexibilität und Anlagensicherheit machen es zu einer der besten Optionen für die Plasmabearbeitung.
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