Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9172349 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist eine Art CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für die Durchführung verschiedener Dünnschichtprozesse entwickelt wurde. Dieser spezielle Reaktortyp basiert auf dem Kaltwanddesign und wird hauptsächlich in der Optoelektronik/Photonik eingesetzt. VEECO K465i entwickelt hat eine breite Palette von Möglichkeiten für die Abscheidung von organischen und anorganischen Materialien auf verschiedenen Substraten, wie CMOS, Glas, SiC und GaAs. Die vom Reaktor getragene Substratgröße beträgt bis zu 8 Zoll. Es besteht aus verschiedenen Komponenten, darunter einem Körper, einer Prozesskammer, einem Suszeptor, einem Gasfördersystem und einer Vielzahl von Stromversorgungen und Steuerungen. Der Aluminiumkörper von EMCORE K465i bietet mechanische Unterstützung, während die Prozesskammer verwendet wird, um die Reaktionspartner und Reaktionsprodukte zu enthalten und zu evakuieren. An der Oberseite der Reaktionskammer ist ein verstellbarer Suszeptor befestigt, um Anthesubstrate während des Abscheideprozesses sicher zu halten und etwas zu erwärmen. Das Gasfördersystem besteht aus einem Massenstromregler (MFC) und einem Durchflussmesser, die eine genaue Dosierung und Steuerung für Vorläufer- und andere Reaktantgase ermöglichen. Ein Cluster von Stromversorgungen steuert den Stromfluss durch die Heizelemente des Reaktors, während die Regler für die Bereitstellung der gewünschten Temperatur verantwortlich sind. Schließlich ist die Kammer der K465i auch mit zahlreichen Überwachungssystemen wie einem Quadrapolmassenspektrometer (QMS) zur Bestimmung der Zusammensetzung von Kammergas und einem Reflektometer zur Überwachung der Dicke der Filme ausgestattet. Insgesamt bietet der VEECO/EMCORE K465i Reaktor ein kostengünstiges und zuverlässiges Mittel zur Durchführung von CVD-Abscheidungsprozessen für die Optoelektronik/Photonik-Industrie. Mit seinem breiten Leistungsspektrum und den einstellbaren Komponenten eignet sich VEECO K465i für eine Vielzahl komplexer Dünnschichtprozesse.