Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9214755 zu verkaufen

VEECO / EMCORE K465i
Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 9214755
MOCVD System.
VEECO/EMCORE K465i ist ein robuster, zuverlässiger und vielseitiger, heißwandiger, emissionsarmer Elektronenstrahl-Bedampfungsreaktor (EBPVD), der in Dünnschichtabscheidungsprozessen verwendet wird. VEECO K465i ist mit einer integrierten Kommissionierausrüstung ausgestattet, die zur Einstellung und Regelung von Druck, Temperatur und Prozessgasen verwendet wird. Dadurch kann der Anwender sehr dünne Folien mit Präzision und Wiederholbarkeit über eine breite Palette von Materialien ablegen. EMCORE K465i System verwendet eine leistungsstarke Elektronenstrahlquelle, die hohe Abscheidungsraten von bis zu 5 nm/s erreichen kann. Die optische Diagnoseeinheit in situ trägt zur Verbesserung der Reproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit des Dünnschichtwachstumsprozesses bei. Die Maschine bietet auch hohe Prozessgleichmäßigkeit für das Filmwachstum an jeder Stelle auf dem Substrat und Prozessanpassung für jede spezifische Anwendung. Das Warmwanddesign von K465i macht es sehr zuverlässig und langlebig. Das Warmwanddesign hilft auch, stabile Kammertemperaturen aufrechtzuerhalten und die Gleichmäßigkeit des Filmwachstums zu verbessern, um Ihnen von Lauf zu Lauf konsistente Ergebnisse zu liefern. VEECO/EMCORE K465i verwendet auch eine neuartige Kombination aus robustem feuerfestem Material in seiner Kammerkonstruktion, die dazu beiträgt, jede Wiederablagerung von Material auf den Substraten zu reduzieren sowie eine hohe Wärmebeständigkeit und Stabilität zu gewährleisten. VEECO K465i Reaktor ist mit einer vakuumdichtbaren Kammer und einem Sortiment von Anschlüssen für die Installation von Prozesssteuerungssensoren und anderen externen Steuergeräten ausgelegt. Das Tool verfügt außerdem über eine In-situ-Prozessdiagnose zur Echtzeit-Filmcharakterisierung. Dies hilft dabei, einen konsistenten Film während des gesamten Prozesses aufrechtzuerhalten und ein schnelles Feedback zu liefern, sodass die Ingenieure die Parameter an die unterschiedlichen Verarbeitungsanforderungen anpassen können. Zusammen mit ausgezeichneter Leistung ist EMCORE K465i wartungsarm und sehr einfach zu bedienen. Es hat keine beweglichen Teile und die digitale Temperaturregelungstechnologie macht es einfach zu bedienen und einzurichten. Die intuitiven grafischen Benutzeroberflächen (GUI) steuern den kompletten Abscheidungsprozess von der Substratpräparation über die Nachkühlung bis hin zur Substratentfernung. Insgesamt ist K465i aufgrund seiner Robustheit, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit eine ideale Wahl für Dünnschichtwachstumsoperationen für Labor- oder Industrieanwendungen.
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