Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9227000 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist ein Hochleistungsätzreaktor für den Einsatz in verschiedenen Bereichen. Es ist ein Niederdruckplasma-Gerät, das eine Kombination aus Gaschemie und einem intensiven Elektronenbeschuss verwendet. Dieser Reaktor ist eine hohlkathodenbetriebene Vorrichtung, die ein wiederholbares, gleichmäßiges Ätzprofil mit überlegener Leistung bietet. VEECO K465i ist ein Multi-Wafer-Ätzreaktor-Rig, das bis zu vier 3-Zoll-Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. Es verfügt über ein Lastschloßmodul und eine Kassettenschale zum Be- und Entladen von Wafern, mit einem automatisierten Antrieb und einem Schnittstellendetektor. Der Reaktor ist mit einer Feldemissionselektronenkanone ausgestattet und kann eine elektrostatische Abschirmung auf Waferebene ermöglichen. Die Steuerung des Gasstroms und die Gleichmäßigkeit des Ätzens kann vom Benutzer eingestellt und eingestellt werden. Es ist auch in der Lage, Batch Deep Reactive-Ion Etching (DRIE) durchzuführen. Dieser DRIE erzeugt einen negativ geneigten Seitenwandwinkel mit gleichmäßiger Ätzrate im Seitenverhältnis über einen Bereich von Druck- und Leistungsbedingungen. EMCORE K465i verwendet ein modernes Multi-Gas-Kontrollsystem, um die Zeit für die Prozessqualifizierung zu reduzieren und die Wartungskosten zu reduzieren. Neben der Multi-Gas-Steuerung können mehrere Rezepte gespeichert und für unterschiedliche Anwendungen verwendet werden. Es verfügt auch über eine chemiefreie Zone und verwendet eine Inline-Verschlussmethode, um den Gegendruck aus dem Abgas zu steuern. Dieses vielseitige Gerät verfügt über eine aktive Emissionsüberwachung, die das System sicher und effizient hält. Seine Niederdruckplattform nutzt eine Ätzbarriere und volle Substrathöhenkontrolle, um einheitliches Ätzen und minimale Zeitüberschreitungen und Ausfallzeiten zu schaffen. K465i ist die perfekte Wahl für Anwender, die nach einer zuverlässigen, kostengünstigen Ätzlösung suchen. Seine Kombination aus hoher Leistung und Benutzerfreundlichkeit machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.