Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9227304 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i Reaktor ist eine Hochtemperatur-Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Ausrüstung. Dieses System ist darauf ausgelegt, eine gleichmäßige und dichte Abscheidung dielektrischer Filme schnell und wiederholbar zu ermöglichen. Es ist besonders nützlich für Anwendungen wie MEMS-Herstellung, Dünnfilm-Solarzellen-Herstellung und Nanokristall-Synthese. VEECO K465i verwendet Dual-HF-Generator-Technologie, die ein Hochtemperatur-direkt beheiztes Substrat mit niedriger Substrat-Vorspannung ermöglicht. Dies führt zu geringer Abdichtung, hoher Gleichmäßigkeit und hochwertiger Filmabscheidung. Die Standard-Kammerkonfiguration beherbergt bis zu vier 6-Zoll und acht 3-Zoll-Suszeptor-Wafer. Diese hohe Kapazität ermöglicht eine Prozessoptimierung mit hohem Durchsatz und Optimierung verschiedener Folientypen für verschiedene Anwendungen. Der PECVD-Prozess wird durch präzise Steuerung der Plasmachemie, des Kammerdrucks, der Substrattemperatur, der HF-Leistung und anderer Parameter geregelt. Es enthält Temperaturmessfähigkeit von +/−0.3°C, die eine gleichmäßige und wiederholbare Dünnschichtabscheidung auf jedem Wafer ermöglicht. Darüber hinaus bietet EMCORE K465i eine integrierte Prozesssteuerung, um die Leistung genau zu überwachen und den Prozess zu optimieren. Eine Endpunktschaltung auf Thermoelementbasis überwacht die Abscheiderate in situ und dient zur präzisen Steuerung der Endpunktoptik. Dies führt zu einer verbesserten Kontrolle der Folienzusammensetzung und Kristallstruktur, was zu verbesserten Leistungseigenschaften des resultierenden Materials führt. K465i bietet auch eine Reihe von Standard- und kundenspezifischen Lastschlössern und allen anderen zugehörigen Komponenten, um höchste Produktivität und Prozessstabilität zu garantieren. Es wurde entwickelt, um strenge Leistungskriterien für PECVD-Systeme für die Herstellung von Halbleiter- und MEMS-Bauelementen zu erfüllen. Es ist eine zuverlässige und robuste Maschine, die in Reinraum- und industriellen Forschungs- und Entwicklungseinstellungen (F&E) eingesetzt werden kann. Abschließend ist VEECO/EMCORE K465i Reaktor ein fortschrittliches PECVD-Werkzeug, das eine hochwertige, gleichmäßige Abscheidung von dielektrischen, siliziumhaltigen und anderen nanostrukturierten Folien ermöglicht. Es ermöglicht eine zuverlässige und wiederholbare Steuerung von Prozessparametern wie Temperatur, HF-Leistung, Kammerdruck und Plasmachemie. Durch seine integrierte Prozesssteuerung und thermoelementbasierte Endpunktoptik bietet dieses Modell maximale Produktivität und zuverlässige Leistung.