Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9229288 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist ein metalorganischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD), der für Flüssigphasenepitaxie (LPE) und oxid-/nitridbasierte Abscheidung entwickelt wurde. VEECO K465i ist ein Hochdurchsatzwerkzeug, das sich ideal für industrielle Mehrschichtanwendungen wie LEDs, integrierte Optik und Dünnschichttransistoren (TFTs) eignet. Es verfügt über eine maßgeschneiderte Gasverteilungsanlage mit individuell gesteuerten Gasvorläufern und dynamischen Reaktionszonen für maximale Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung sowie automatisierte Prozesssteuerungssoftware zur Optimierung von Durchsatz und Ausbeute. EMCORE K465i ist ein vertikaler MOCVD-Reaktor mit vier Zoll und zwei Zoll Reaktorrohr. Es nutzt horizontale und vertikale Gasströmung für gleichmäßiges Mehrfachwachstum im gesamten Wafer. Die Substratheizung kann bis zu 700 ° C erreichen und die Temperatur kann über ein direktes Heizsystem und eingebaute Temperatursensoren gleichmäßig gehalten werden. Seine dreistufige Turbopumpe ist in der Lage, ein hohes Vakuum für aktive Artenkondensation und eine effiziente Reaktivgasförderung bereitzustellen. K465i wird durch eine hochpräzise automatische Waferübertragungseinheit, eine automatisierte Druckausgleichsmaschine zur Steuerung von Druck und Durchfluss des Reaktors, einen kundenspezifischen Hubmechanismus sowie eine automatisierte Gassequenzierung zur präzisen Abscheidungssteuerung ergänzt. Es ist mit hohem Durchsatz und hochwertigen Hardwarekomponenten wie Prismenkristallen, In-situ-Überwachung, automatisierter Schattenmaskierung und einem Spektroskopie-Tool ausgestattet. VEECO/EMCORE K465i umfasst auch einen Abgaswäscher, um gasförmige Verunreinigungen in der Umwelt zu reduzieren. VEECO K465i wurde entwickelt, um ein robustes, wiederholbares und zuverlässiges Werkzeug zur Herstellung eines hohen Volumens von homogenen Schichten genau und effizient bereitzustellen. Dank seiner erweiterten Funktionen ist es eine ideale Wahl für Kunden, die nach einem kostengünstigen und vielseitigen MOCVD-Asset suchen.