Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9233939 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist ein Ionenimplantationswerkzeug für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist ein vielseitiger Reaktor mit hohem Durchsatz, der Ionen verschiedener Elemente verwendet, um die physikalischen und elektrischen Eigenschaften eines Substrats zu modifizieren. Der Reaktor nutzt einen breiten Energiebereich von 0,5 bis 750 KeV, mit Implantationsraten von bis zu 1 .25e12 bei/cm2/min. Dies ermöglicht die genaue Kontrolle der Implantatdosis und -tiefe in das Substrat sowie die Art der implantierten Elemente. Der Reaktor besteht aus einer Vakuumkammer, Ionenquelle, Rollläden und Detektorsystemen. Die Vakuumkammer enthält ein Vakuum von 1x10-8 Torr, wodurch Ionen in das Substrat implantiert werden können. Die Ionenquelle enthält Elemente wie Ar, Cs, Xe und N an verschiedenen Energien, um eine korrekte Implantation der Ionen zu ermöglichen. Die Rollläden steuern den Strahl von Ionen, um genaue Abtastung und genaue Implantation zu gewährleisten. Die Detektorsysteme überwachen das Plotmuster, um eine präzise Abtastung zu erreichen und eine genaue Messung der zu implantierenden Fläche zu ermöglichen. VEECO K465i ist ein analoger Fuzzy-Logik-Computer-Controller, der hilft, den ordnungsgemäßen Betrieb des Werkzeugs aufrechtzuerhalten. Der Regler dient auch zur Feinabstimmung der Strahlleistung und des Stromprofils, um die gewünschte Dosierung zu erreichen. Der Regler überwacht auch das Gesamtsystem und passt die Ionenbeschleunigung automatisch an. Das Tool verfügt über einen Mehrkanal-Wafer-Mapper, der eine Vielzahl von asynchronen Implantations- und sequentiellen Implantationsoptionen ermöglicht. Es ist mit einem hochauflösenden Ionenoptiksystem ausgestattet, das die Implementierung fortschrittlicher Scanstrategien wie Feinlinienscannen, 2D-overlays und Offset-Implantationen ermöglicht. Dieses System ermöglicht auch eine gleichmäßige Implantation über den gesamten Wafer. Das Werkzeug ist für schnelle Umdrehungszeiten und einfache Wartung ausgelegt. Sicherheitsmerkmale wie ein verschließbarer Kammerdeckel, ein Notknopf und ein Gurtförderschloß sind für den sicheren Betrieb enthalten. Das Werkzeug wird unter Berücksichtigung der Wartung, mit einfachem Zugriff auf mehrere Komponenten und einfachen Austausch von Teilen gebaut. Das Tool bietet auch Online-Wartung und Dokumentation von Implantaten, um eine ordnungsgemäße Funktion zu gewährleisten. EMCORE K465i ist ein fortschrittlicher Hochdurchsatzreaktor, der für den Einsatz in der Halbleiterherstellung geeignet ist. Mit seinen einstellbaren Strahlenergien, der hochauflösenden Ionenoptik und dem multifunktionalen Mapper ist K465i in der Lage, die Implantatdosis und die Implantattiefe für verschiedene Anwendungen genau zu steuern. Das Werkzeug verfügt außerdem über einfache Wartungs- und Sicherheitsmerkmale für einen zuverlässigen Betrieb.