Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9241368 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist ein fortschrittliches, induktiv gekoppeltes Analysewerkzeug auf Plasmabasis zur Erforschung und Analyse der Eigenschaften von Halbleitermaterialien. Dieser Laborreaktor ist für Forschungsanwendungen konzipiert und kann zum Messen, Analysieren und Experimentieren mit einer Vielzahl von Halbleitermaterialien verwendet werden. VEECO K465i ist ein Hochdruck-induktiv gekoppelter Reaktor auf Plasmabasis, der für den Einsatz in der Elektrodenpegelverarbeitung für Tiefätz-, Ätz-, Abscheide- und Glühversuche optimiert ist. Es verwendet eine einzigartige kreisförmige leitende Antennengeometrie, um die Plasmakopplungseffizienz und die Leistungsübertragung in die Kammer zum Substrat zu verbessern. EMCORE K465i verfügt über eine innovative Doppeldruckstruktur und zwei unabhängig voneinander gepflegte Druckbereiche für hervorragende Prozesswiederholbarkeit und robuste Geräteleistungen. Es ist in der Lage, hochenergetische Plasmen für die Optimierung von Quellen mit hoher Dichte und Anwendungen zur Kontrolle von Gewohnheiten kritischer Dimension zu erzeugen. Diese plasmas können unaufhörlich mit einem Ablation Echtzeitlasereinmischungsspektrometer für die genaue Kontrolle der Plasmachemie und Zusammensetzung kontrolliert werden. Darüber hinaus ist K465i für die Produktion mit hohem Durchsatz ausgelegt und enthält eine großflächige, parallele Plattenelektrode zur effizienten Materialprozessverteilung und Gleichmäßigkeit. VEECO/EMCORE K465i enthält eine Reihe von leistungsstarken Funktionen und Fähigkeiten, um strenge Forschungsanforderungen zu erfüllen. Diese Merkmale umfassen einstellbare Druckbefeuchtungs- und Evakuierungssysteme für präzise und wiederholbare Prozesssteuerung, einen linearen LFM (Linear Frequency Modulation) -Generator für fortschrittliches Präzisionsprozesstiming und eine ganze Reihe von messtechnischen Fähigkeiten. Der Reaktor enthält eine temperaturausgeglichene Kammer, um konsistente Substrat- und Prozesstemperaturen für optimale Leistung zu gewährleisten. Schließlich beinhaltet VEECO K465i ein komplettes Automatisierungssystem für eine schnelle und effiziente Versuchseinrichtung und -steuerung. Es ist mit einer computergesteuerten, robotergesteuerten Probenhandhabungseinheit ausgestattet, die sowohl kreisförmige Wafer von 1,27 cm Durchmesser als auch bis zu x cm ² Substrate für größere Geräte handhaben kann. Darüber hinaus ermöglicht eine proprietäre Windows-basierte Automatisierungsmaschine eine einfache Datenerfassung und -steuerung, während ein integriertes optisches Werkzeug eine detaillierte Bildgebung und Analyse zur Experimentcharakterisierung bietet. Insgesamt ist EMCORE K465i ein leistungsstarkes, fortschrittliches Analysewerkzeug auf Plasmabasis mit einer Vielzahl von Funktionen und Funktionen. Es ist das perfekte Werkzeug für Forscher und Techniker, die fortgeschrittene und wiederholbare Prozesse für die Forschung und Analyse von Halbleiterbauelementen benötigen.