Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9273446 zu verkaufen

Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 9273446
Weinlese: 2012
MOCVD System 2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i ist ein hochentwickelter E-Strahl-Reaktor, der für hochpräzise Verarbeitung bei der Herstellung von Halbleiter-, optischen und anderen fortschrittlichen Mikrofabrikationsanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine Vielzahl von leistungsstarken Verbesserungen, einschließlich einer 4-Achsen-Bewegungssteuerung, die kontrollierte und präzise ausgerichtete Scan-Muster ermöglicht. Die resultierenden Hochgeschwindigkeitsabscheide- und Ätzprozesse ermöglichen sehr genaue und zuverlässige Fertigungsergebnisse. Im Kern nutzt VEECO K465i die fortschrittliche E-Beam-Technologie, um einen intensiven, hochfokussierten Elektronenstrahl zu erzeugen. Dieser Strahl wird anschließend durch eine Reihe von Driftrohren beschleunigt, wo er gezwungen wird, mit einem gasförmigen Ausgangsmaterial zu interagieren. Anschließend wird das Ausgangsmaterial durch den Elektronenstrahl angeregt und beschleunigt, wodurch Reaktionsprodukte entstehen, die anschließend auf dem Substratmaterial abgeschieden werden. Dieses Verfahren ermöglicht eine sehr feine Abscheidungssteuerung, was letztlich zu höheren Ausbeuten, überlegener Gleichmäßigkeit und geringeren Fehlerraten führt. EMCORE K465i kann im Bereich von hohen Strömen bis 500 mA mit einem minimalen Strahldurchmesser von 1 μ m betrieben werden und einen Durchsatz von bis zu 10 Wafern pro Stunde erreichen. Das fortschrittliche 4-Achsen-Bewegungssystem ist in der Lage, Wafer bis zu 6 Zoll Durchmesser, bis zu 0,015 mm Dicke, mit einer minimalen Strahlausrichtungstoleranz von 0,5 μ m aufzunehmen. Die Einheit kann auch so ausgebildet sein, dass sie plasmaverstärkte oder polymere Beschichtungsprozesse ermöglicht. Sicherheitstechnisch setzt K465i Reaktor eine Vielzahl von Maßnahmen ein, um das Personal vor Strahlenbelastung zu schützen. Dazu gehören eine fortschrittliche Sicherheitsverriegelungsmaschine, ein Abschaltwerkzeug für Stromausfälle und ein automatisiertes Gerät zur Überwachung von Wassertemperaturen und Druck. Zusammenfassend ist VEECO/EMCORE K465i ein zuverlässiger und präziser E-Strahlreaktor, der für die hochpräzise Verarbeitung in einer Vielzahl fortschrittlicher Fertigungsanwendungen entwickelt wurde. Sein leistungsstarkes 4-Achsen-Bewegungsmodell, hohe Durchsätze und maximale Ströme von 500 mA machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von Präzisionsgeräten. Darüber hinaus sorgen die fortschrittlichen Sicherheitsmaßnahmen und die automatisierte Überwachungsausrüstung für einen zuverlässigen und sicheren Betrieb.
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