Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9274047 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist ein Reaktor, der zur Herstellung von Dünnschichthalbleitern verwendet wird. Es wurde von VEECO Instruments und EMCORE Corporation als Werkzeug der nächsten Generation für die Herstellung von Mikroelektronik und Optoelektronik entwickelt. VEECO K465i ist ein Einkammer-Hybrid-Reaktor, der mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und Hochfrequenz (RF) -Leistung dünne Filme auf verschiedenen Substraten abscheidet. Es ist ein sehr vielseitiges Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialtypen abzuscheiden, von Verbindungen auf Siliziumbasis bis hin zu exotischen Metall-Isolator-Verbindungen. EMCORE K465i ist ein vollautomatisches System, das einfach programmiert werden kann, um verschiedene Kombinationen von Substratgrößen, Prozesstemperaturen, Druckregimes, Gasgemischen und HF- und ICP-Leistung aufzunehmen. Das System ermöglicht auch die In-situ-Überwachung von Prozessparametern wie Druck, Temperatur, HF, ICP-Leistung und Gasfluss. K465i Reaktor vereint eine Reihe verschiedener Komponenten, darunter eine Prozesskammer und einen Gaskasten. Die Prozesskammer enthält einen Suszeptor, mit dem das Substrat während des Abscheidungsprozesses abgestützt wird, sowie eine HF-Spule und die Prozessgase. Der Gaskasten enthält eine Gasversorgungseinheit und verschiedene Ventile und Ventilsteuerungen. Die modulare Konfiguration von VEECO/EMCORE K465i ermöglicht es, auf verschiedene Produktionsprozesse zugeschnitten zu werden, von hochwertigen Produkten mit geringem Volumen wie optoelektronischen Geräten bis hin zu hochvolumiger, kostengünstiger Elektronik. Weitere Vorteile von VEECO K465i sind die breite Palette an Prozessintegrationsoptionen, die schnelle und einfache Werkzeugumstellung, eine erhöhte Prozesskontrolle und -stabilität sowie verbesserte Produktionserträge. Insgesamt ist EMCORE K465i ein innovatives und leistungsstarkes Werkzeug für die Dünnschicht-Halbleiterproduktion. Es ist robust, zuverlässig und einfach zu bedienen, und seine vielseitige Konfiguration und erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen machen es zu einer großen Auswahl für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen.