Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9276024 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i ist ein Niederleistungs-Elektronenstrahl (E-Strahl) -Abscheidungsreaktor, der zur Dünnschichtabscheidung von Materialien in der Halbleiter- und Mikroelektronikbauelementherstellung verwendet wird. Der VEECO K465i Reaktor mit einem geschlossenen Magnetron-Sputterverfahren ist ideal für Forschung und Entwicklung sowie kommerzielle Abscheidungsprozesse. Die Kunimatsu-Elektronenkanone des Reaktors ermöglicht die Ionisation von Argongas, um ein Plasma zu erzeugen, sowie eine Niederdrucksputterabscheidung von gewünschten Filmmaterialien. Diese Elektronenkanone ist mit einer automatischen Aperturausrichtung ausgestattet, was zu optimalen Abscheidungsparametern und einem reibungslosen Betrieb führt. Der Reaktor besteht aus einer Kammer, einem Substratheizbett, einer Elektronenkanone, einem Substratfutter und einem Satz von vier Quadrupolmagneten. Die Vakuumkammer des EMCORE K465i Reaktors besteht aus Edelstahl oder Aluminium und ist mit einer Vakuumpumpe und einer Turbopumpe gekoppelt, um einen Basisdruck von 1 µtorr oder weniger zu erreichen. Innerhalb des Reaktors befindet sich eine E-Strahl-Ausrüstung, die eine Elektronenkanone, einen Kollektor und magnetische Linsen umfasst. Dieses System wird verwendet, um einen dünnen, sich schnell bewegenden Elektronenstrahl zu erzeugen, der die Proben wie ein sich langsam bewegender Scanner abtastet. Das Substratheizbett besteht aus einer Widerstandsheizung mit Thermoelement-Temperatursensor. Dies ermöglicht eine maximale Substrattemperatur von 400 Grad Celsius, die über eine Temperaturregeleinheit einstellbar ist. K465i Reaktor verfügt auch über ein flaches Substratfutter, das sich in Bezug auf die Elektronenkanone nach oben und unten bewegt und eine gleichmäßige und wiederholbare Erwärmung der Probenoberfläche ermöglicht. Die vier Quadrupolmagnete des Reaktors dienen zur Führung von Elektronen, die einen stabilen, fokussierten Strahl bilden. Dies erhöht die Gleichmäßigkeit und Genauigkeit des Abscheidungsprozesses. Durch Steuerung der Leistung des Magnetronsputterns kann die Abscheiderate variiert werden. Die Hardware der E-Beam-Maschine umfasst eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie Übertemperaturschutz, Gesamtleistungsüberwachung und Spannungsstromstabilität. Der Elektronenstrahlreaktor VEECO/EMCORE K465i bietet eine Vielzahl von Merkmalen und Fähigkeiten und ist damit ein ideales Werkzeug für Dünnschichtabscheidungsprozesse. Mit optimiertem E-Strahl-Scanning und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit ist der VEECO K465i Reaktor ein unschätzbares Gut für die Halbleiter- und Mikroelektronikherstellung für die Zwecke der Forschung, Entwicklung und kommerziellen Abscheidung.