Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9352112 zu verkaufen

Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 9352112
MOCVD System.
VEECO/EMCORE K465i ist eine Art induktiv gekoppelter Plasmareaktor (ICP), der für die integrierte Technologieentwicklung und Herstellung von Verbundhalbleiter- und optoelektronischen Materialien entwickelt wurde. Diese modernste Technologie nutzt eine ausgeklügelte Kombination aus HF-Leistung und Fluidleistung, um Hochtemperaturplasmen und reaktive Gase zu erzeugen. Es verfügt über sehr geringe akustische Geräusche und einen geringen Platzbedarf, der es für den Einsatz in Forschungslabors, Universitäten und der industriellen Fertigung geeignet macht. VEECO K465i verfügt über zwei Hochfrequenzquellen und einen Leistungsbereich von 75-600 Watt bei 13,56 MHz und 1-125 Watt bei 27,12 MHz. Es verfügt auch über eine einstellbare Leistungsrampenrate, die es Benutzern ermöglicht, Gas- und Ionendichten genau zu steuern. Das Gerät verwendet ein spezielles Abschirmungsdesign, um sowohl magnetische als auch magnetische elektrostatische Störungen zu reduzieren, wodurch es für Produktionsanwendungen konsistent und zuverlässig ist. EMCORE K465i ist für die Verwendung von bis zu dreizehn Gasen, zwei Flüssigkeiten und einem einzigen festen Bestandteil ausgelegt. Es verfügt über Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich Druck, Temperatur und Ionenenergie, die es ermöglichen, innerhalb einer Vielzahl von Prozessbedingungen zu arbeiten, wodurch Benutzer Flexibilität und Kontrolle erhalten. Durch die Zugabe einer zweiten HF-Quelle kann diese Einheit leicht für Abscheide- und Ätzprozesse modifiziert werden. K465i ist ein Premium-System mit niedrigen Betriebskosten und bis zu dreifachem Durchsatz ähnlicher Systeme seiner Klasse. Das voll integrierte Design sorgt dafür, dass Wartungsaufgaben auf ein Minimum beschränkt bleiben und das Gerät verfügt über fortschrittliche Thermomanagement-Steuerungsalgorithmen. Dadurch wird die Wärmeabgabe und der Verlust von Prozessgasen durch thermische Gradienten verhindert. Insgesamt bietet VEECO/EMCORE K465i eine fortschrittliche On-Wafer-Technologie für die Verarbeitung optoelektronischer Materialien. Es verfügt über eine hohe Leistungsvielfalt, optimierte Be- und Entladezeiten und einen sehr geringen Platzbedarf. Es ist ein zuverlässiges Hochleistungsinstrument, das sich sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsanwendungen eignet.
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