Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9363426 zu verkaufen

VEECO / EMCORE K465i
Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 9363426
MOCVD System.
VEECO/EMCORE K465i ist eine hochfrequente (RF) reaktive Ionenätzreaktorausrüstung, die für die präzise Mikroherstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte entwickelt wurde. Dieses System nutzt eine Kombination aus HF-Stromquellen, einer hochdichten Plasmaquelle, einer Reihe von Ätzgasen und computergesteuerter Präzisionshardware und Software, um hochpräzise, hochauflösende Ätzleistung auf einer Vielzahl von Materialien wie Glas, Silizium, Saphir und anderen Polymeren zu liefern. VEECO K465i basiert auf einem hybriden, magnetisch verbesserten Mikrowellen-Plasmaverfahren, das ein qualitativ hochwertiges Ätzen mit geringer PMMA-Erosion und minimierter Mikrobelastung ermöglicht. Es ist mit einer fortschrittlichen Plasmaquelle ausgestattet, die einen kontrollierten Polaritätsumwandlungsmechanismus verwendet, um ein robustes Plasma mit hoher Dichte sowohl an der Plasmaquelle als auch an der Substratkammer zu erzeugen. Die Quelle wurde entwickelt, um eine hohe Gleichmäßigkeit und eine hohe Chemie-Selektivität zu bieten, die optimale Ätzprofile ermöglicht. EMCORE K465i hat eine hohe Wiederholbarkeit, was bedeutet, dass mehrere Ätzprozesse auf demselben Werkstück ausgeführt werden können, um einheitliche Ergebnisse zu erzielen. Es hat auch die Fähigkeit, große Flächen mit geringer Variation über die Ätzfläche zu ätzen. Die Umgebungssteuerung des Geräts ermöglicht präzise Druck- und Temperaturniveaus, während eine robuste Gasmanagementmaschine die automatische Gasmischung unterstützt, um die beste Ätzchemie zu erzielen. K465i ist mit einem fortschrittlichen computergesteuerten Hardware- und Software-Tool ausgestattet, das wiederholbare, hochpräzise Ätzergebnisse liefert. Die Anlage ist auch mit einer Reihe von HF-Stromquellen ausgestattet, sodass der Benutzer mit verschiedenen Ätzgasen ätzen und die spezifischen Ätzparameter einstellen kann. Das Modell bietet auch eine breite Palette von Substratmaterialien, von Standardmetallen bis hin zu exotischen Materialien, so dass nahezu jede Anwendung angesprochen werden kann. VEECO/EMCORE K465i HF reaktive Ionenätzreaktorausrüstung ist flexibel und präzise konzipiert. Die fortschrittlichen Hardware- und Softwaresysteme ermöglichen es dem Anwender, hochpräzise und hochauflösende Ätzergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien zu erzielen. Sein robustes Gasmanagementsystem und seine Umweltkontrollen sorgen für die optimale Ätzchemie. Die Reichweite der HF-Stromquellen sowie die Fähigkeit, große Flächen zu ätzen und die geringe Variation über die Ätzbereiche hinweg sorgen dafür, dass diese Maschine für jede Mikroherstellungsanwendung ideal ist.
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