Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9364537 zu verkaufen

Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 9364537
Wafergröße: 2"-6"
MOCVD Systems, 2"-6" Process: GaN.
VEECO/Ecore VEECO/EMCORE K465i ist ein Hochleistungs-Hochfrequenz (HF) -Reaktor auf Plasma-Basis reaktiven Ionenätzens (RIE). Diese Ausrüstung ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie das Ätzen von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis, das Strukturieren von Polymeren, das Ätzen von Saphir und das Präzisionsätzen von Metallen. Die VEECO K465i Technologie wurde entwickelt, um perfekte Ätzergebnisse mit Präzision und Qualitätskontrolle zu gewährleisten. Es basiert auf der neuesten Plasma-basierten RIE-Technologie, die Funkfrequenzen verwendet, um das Plasma anzuregen. Die fortgeschrittene HF-Bildung des Plasmas sorgt für genaue, wiederholbare Ätzergebnisse. Die integrierte Plasmaprofil-Steuerungstechnik bietet eine präzise Steuerung des Prozesses. EMCORE K465i ist mit einer proprietären EMCORE/Ecore-Technologie für maximale Ätzgleichmäßigkeit und Strukturen mit hohem Seitenverhältnis ausgestattet. Dies liegt an seiner einzigartigen Elektrodengestaltung, die eine Elektrodenkammer mit einem abgewinkelten Schlitz aufweist. Dadurch ergibt sich eine wesentlich größere Ätzfläche. Es kommt auch mit dem patentierten atomaren Transportmechanismus des Unternehmens für effizientes, wiederholbares Ätzen. K465i ist für einen breiten Frequenz- und Druckbereich ausgelegt. Mit diesem Bereich kann das System eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, wie Metalle, Keramiken und Polymere. Das Gerät ist auch mit fortgeschrittenen Audiofrequenz-Voltmetern (VFMs) und Druckreglern ausgestattet, um eine ordnungsgemäße Steuerung und Überwachung zu gewährleisten. Die automatisierte Lastverriegelungsmaschine von VEECO/EMCORE K465i bietet eine schnelle, wiederholbare Verarbeitung ohne Vorrichtungen oder Schritte. Dieses Tool bietet hohe Einschaltstromfähigkeit für schnelles Ätzen. Das Asset kann so programmiert werden, dass es mit einer Vielzahl von Wafergrößen und -formen arbeitet. VEECO/EMCORE/Ecore VEECO K465i ist ein zuverlässiger Ätzreaktor mit modernster Ätztechnologie. Es ist für Hochgeschwindigkeitsätzprozesse mit präziser Verarbeitung ausgelegt. Es ist mit Funktionen wie einem abgewinkelten Schlitz für Strukturen mit hohem Seitenverhältnis, erweiterten Audiofrequenz-Voltmetern (VFMs) und automatisierten Lastsperrsystemen ausgestattet. Dies macht es ideal für eine breite Palette von Anwendungen in Ätz-, Muster- und Präzisionsätzen.
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