Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9402610 zu verkaufen

VEECO / EMCORE K465i
Hersteller
VEECO / EMCORE
Modell
K465i
ID: 9402610
MOCVD System Process: GaN.
VEECO/EMCORE K465i Doppelstabreaktor ist ein modernes CVD-System (Chemical Vapor Deposition). Dieses System hat zwei Zonen: die Substratzone und die Sourcezone. Die Substratzone enthält die Lastsperre, die zwei Substrate gleichzeitig handhaben kann und bis zu sechs Substrate von bis zu 200mm Größe aufnehmen kann. Die Sourcezone enthält die Trägergaszufuhr und leitet die Reaktantgase zur Zersetzung der Materialien zur gewünschten Folie oder Schicht in die Substrate ein. Dieser Reaktor kann Materialien mit unterschiedlichsten Abscheidungsparametern verarbeiten, von niedrigen bis zu hohen Abscheidungsgeschwindigkeiten. Es bietet durch seine 360-Grad-Erwärmung auf Substratebene eine außergewöhnliche Abscheidungsgleichmäßigkeit und Flexibilität. Das Substrat wird unabhängig von der Quelle durch einen voreingestellten oder programmierbaren Positionsplotter verwaltet. Dies ermöglicht eine hochpräzise Strukturierung. VEECO K465i verwendet sowohl horizontale als auch vertikale beheizte Linien für eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Temperaturregelung. Das System ermöglicht fortschrittliche Prozesssteuerungen wie Gasfluss, Druck, HF- und Bias-Leistungssteuerung sowie erweiterte Sicherheitsfunktionen. EMCORE K465i verfügt außerdem über eine patentierte Quarzkristall-Mikrowaage (QCM), die eine genaue Analyse der chemischen Zusammensetzung in situ ermöglicht. K465i wurde entwickelt, um eine Vielzahl fortschrittlicher Materialien zu verarbeiten, darunter Hochtemperaturmaterialien und Oxide, wie aluminiumdotiertes Zinkoxid (AZO), amorphes Silizium (a-Si) und Cadmiumselenid (CdSe). Es ist für Anwendungen in der Entwicklung und Herstellung von Dünnschichttransistoren, Solarzellen und Photodetektoren konzipiert. VEECO/EMCORE K465i ist ein Reaktor der nächsten Generation, der in einem kompakten, zuverlässigen Paket ein beispielloses Maß an Leistung, Flexibilität und Kontrolle bietet. Es ist zuverlässig und einfach zu bedienen, mit intuitiven Touch-Panel-Bedienelementen und benutzerfreundlicher Software für einfache Einrichtung und Bedienung. Es enthält auch eine umfassende Suite von Laborwerkzeugen für eine verbesserte Prozessüberwachung und kundenspezifische Werkzeugsteuerung.
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