Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9411980 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K465i Reaktor ist ein leistungsfähiges und effizientes Werkzeug für viele Forschungs- und Fertigungsprozesse in der Materialwissenschaft, Nanotechnologie und einer Reihe von anderen Bereichen. Es ist ein hochmodernes Plasmaätzsystem, das eine präzise und wiederholbare Kontrolle über Parameter wie Ätzrate, Anisotropie, Selektivitäten und Endpunktsteuerung ermöglicht. Ein kompakter, vertikaler Reaktor, VEECO K465i ist ideal für viele kommerzielle und Laboranwendungen, da er eine flexible Konfiguration mit bis zu drei Prozess- und Source-Modulen, einem Lastschloss sowie integralen Turbo-Pump- und Vakuum-Überwachungsfunktionen bietet. EMCORE K465i ist ein reaktives Ionenätzsystem (RIE) und Primärreaktionen wie Ar-Plasma, SF6-Plasma, Sauerstoff-Plasma und andere können eingesetzt werden, um eine Vielzahl von Materialien zu ätzen. Das Gerät bietet eine hervorragende Kontrolle über Prozess, Rezeptentwurf, Quellmaterialauswahl und Hauptstart der Pumpe. Eine grafische Benutzeroberfläche, ein Panel View Display und ein programmierbarer Logikcontroller bieten eine umfassende Steuerungsoberfläche für die Chemie-Steuerungsaspekte des Ätzens. Zu den Komponenten von K465i gehören ein elektrostatisches Spannfutter, Halteschilde und eine integrierte Ionenstrahlquelle. Die internen Komponenten wurden entwickelt, um Ätzprozesse von < 20KV mit einer maximalen Ätzrate von bis zu 32 nm/min und Funktionen zu unterstützen, die ein hochauflösendes Ätzen ermöglichen. Die elektrostatischen Spann- und Halteschilde tragen dazu bei, die Wiederholbarkeit und Präzision der Prozesse zu gewährleisten und die Ladezeiten und Bewegungen der Komponenten zu reduzieren. VEECO/EMCORE K465i bietet eine breite Palette von Materialabscheidungsdienstleistungen, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD), physikalischer Dampfabscheidung (PVD) und Verdampfung. Diese Dienstleistungen können verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, einschließlich Metalle, Legierungen, Dielektrika und Halbleiter. Die Prozesse bieten auch eine hervorragende Kontrolle über Ätzanisotropie, Funktionssteuerung und Präzision. Zusätzlich zu den Ätz- und Ablagerungsfunktionen bietet VEECO K465i eine Reihe von Optionen zur Optimierung des Prozesses, einschließlich einer Lastsperre, dedizierter Ionenquelle und Photolionisierungsfunktionen. Die Lastsperre ermöglicht eine wiederholbare und kontrollierte Probenbeladung, während die dedizierte Ionenquelle höhere Ätzraten und eine verbesserte Wiederholbarkeit bietet. Die Photolionisierungsfunktionen wurden entwickelt, um die Prozessauflösung zu verbessern und die Probenkompatibilität zu verbessern. Insgesamt ist EMCORE K465i eine ausgezeichnete Wahl für eine breite Palette von Forschungs-, Fertigungs- und Industrieanwendungen. Seine flexible Konfiguration und sein breites Spektrum an Fähigkeiten machen es zu einer sehr vielseitigen Maschine mit dem Potenzial, die Art und Weise zu transformieren, wie Materialien entwickelt und verwendet werden. In Kombination mit seinen hervorragenden Funktionen, Steuerungsfunktionen und Wiederholbarkeit ist K465i ein leistungsfähiges Werkzeug für alle, die die Effizienz und Genauigkeit ihrer Prozesse erhöhen möchten.