Gebraucht VEECO / EMCORE K475 #9315631 zu verkaufen

VEECO/EMCORE K475 ist ein Elektronenstrahl (E-Strahl) -Ionenimplantationsreaktor, der speziell für die Herstellung von Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen entwickelt wurde. Es ermöglicht eine hochpräzise und großflächige Dotierung von Substraten mit einem breiten Spektrum an Ionenstrahlenergien und -intensitäten von 10 keV bis 40 keV bzw. von 1 mA bis 4 mA. VEECO K475 ist mit einer geteilten Vakuumkammer ausgebildet, wobei die obere Kammer die Ionenquelle, die beschleunigende Struktur und eine Injektorpistole enthält; und die untere Kammer die Strahllinie, die Probenladestation und die Zielplattform beherbergt. Es enthält auch eine vorionisierte, 90 ° Biegung zur Strahllinie, die es dem Bediener ermöglicht, den Strom und die Spannung des Strahls genau einzustellen. EMCORE K475 wurde entwickelt, um eine maximale Strahlgleichförmigkeit über das Zielsubstrat zu gewährleisten, wodurch eine gleichmäßige Implantation gewährleistet ist. Es ist mit einem einstellbaren Kollimator ausgestattet, um den Strahl genau auf das Substrat zu fokussieren. Zusätzlich steuert das selbstkalibrierende Monitorsystem den Strahlstrom, die Strahlintensität und die Strahlgleichförmigkeit, um eine optimale, wiederholbare und konsistente Implantation zu gewährleisten. Um eine Abscheidung unerwünschter Ionen zu verhindern und Kontaminationen zu reduzieren, verfügt K475 über Verschmutzungskontrollmöglichkeiten. Sie weist einen Ionenblenden- und Dichtkammerdeckel auf, der es dem Bediener ermöglicht, den Innendruck der Kammer zu steuern. Zusätzlich steht eine optionale Ionengetterpumpe zur zusätzlichen Nachbearbeitungsreinigung der Kammer zur Verfügung. VEECO/EMCORE K475 ist ein flexibles Werkzeug zur Herstellung von anspruchsvollen Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen. Es ist schnell, effizient und präzise und kann hochgenaue Implantate mit bis zu 1 μ m Auflösung herstellen. Sein robustes Design, seine anspruchsvolle Steuerung und seine extreme Präzision machen es für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Optoelektronik, Luft- und Raumfahrt und Militär geeignet.