Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc E450 LDM #9119474 zu verkaufen

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ID: 9119474
Weinlese: 2009
MOCVD System, 13x4" ( 5x6") MO Source line: TMGa-1, TMGa-2, TMIn-1, TMIn-2, TMAl-1, TMAl-2, Cp2Mg, DEZn Hydride source line: (1) AsH3, (1) PH3, (2) Dopant A Si2H6, (1) Dopant B spare Veeco real temp pyrometers Ebara A70 multi-stage vacuum pump (5) RE215 Thermal baths (1) RE221 Thermal bath Currently installed 2009 vintage.
VEECO TurboDisc E450 Low-Density Metal (LDM) Reactor ist ein kommerzielles Werkzeug zur physikalischen Verdampfung von Metallen für den Einsatz in Halbleiterbauelementen und -strukturen. Dieser Hochleistungsreaktor arbeitet in einer Hochvakuumumgebung und nutzt Mikrowellenenergie zur Erwärmung, Aufdampfung und Oxidation. Das Verfahren beginnt damit, ein „Einsatzmaterial“ benötigter Metalle in den Quarzwafer-Suszeptor des Reaktors einzuladen, der dann sehr hohe Temperaturen in präziser, konsistenter Weise erreichen kann. Der E450 LDM-Reaktor ist in der Lage, Abscheideraten bis zu 5 nm/s im dynamischen Betrieb und verwendet entweder Hochfrequenz (HF) Heizung oder Gleichstrom (DC) Heizung, um diese hohen Temperaturen zu erreichen. Darüber hinaus ermöglichen die konstanten Abscheidungsparameter im TurboDisc-Design es Benutzern, denselben Abscheidungsprozess zu wiederholen, um Strukturen zu erstellen, die hinsichtlich der Gleichmäßigkeit identisch sind. Die fortschrittliche Reinigungstechnik, die in der E450 LDM-Reaktorausrüstung enthalten ist, spielt eine wesentliche Rolle bei der Reinigung des Quarzwafer-Suszeptors und anderer Komponenten des Systems, um jede Art von Kontamination zu verhindern. Diese Reinigungstechnik nutzt eine Quelle für Chlorgas und Stickstoffgas in einem Prozess, der sicherstellt, dass in den gewünschten Schichten hochwertigste Materialien abgeschieden werden. Der E450 LDM-Reaktor bietet zudem den Komfort einer effizienten elektrischen Trennung. Dies bedeutet, dass der Reaktor unabhängig von Veränderungen in der äußeren Umgebung stabil arbeiten kann, wodurch gleichbleibend höchste Qualitätsergebnisse erzielt werden. Darüber hinaus erfordert der E450 LDM-Reaktor keine häufige Wartung und Wartung, was bedeutet, dass Benutzer den Reaktor für längere Zeit betreiben können, ohne das Risiko zu laufen, dass das Gerät zusammenbricht. Außerdem verfügt die Maschine über ein umlaufendes Kühlwerkzeug, um das gesamte Gut jederzeit optimal arbeiten zu lassen. EMCORE TurboDisc E450 Low-Density Metal (LDM) Reactor ist ein einfach zu bedienendes, leistungsstarkes Werkzeug, das sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignet, die die Verdampfung von Metallen erfordern. Die fortschrittliche Reinigungsmethode in situ, hohe Abscheidungsraten und elektrische Isolation machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die ein konsistentes und zuverlässiges Abscheidungsmodell suchen.
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