Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #293601651 zu verkaufen

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN Reactor ist eine zuverlässige und leistungsstarke Abscheideausrüstung, die speziell für die Hochleistungs-Galliumnitrid (GaN) -Verarbeitung entwickelt wurde. Es ermöglicht jedem, wiederholbare und konsistente Ergebnisse mit jedem Prozess zu erzielen. Dieses System verwendet TurboDisc (TD) -Technologie, eine Kombination aus horizontaler und vertikaler Suszeptor-Rotation mit patentierter DualRF™-Steuerung, um den gesamten Fußabdruck in Werkzeug und Prozess zu minimieren. Die TD-Technologie bietet Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über alle Prozess-Hot-Spots und hohe Durchsatzkühlung, was die Prozesszeit optimiert. Die K465i verwendet eine Vierplatzkassette für maximale Flexibilität bei der Verwendung von Quarz-Flachsubstanzen. Dieser Reaktor ist mit fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer automatischen variablen Substratvorspannung (AVSB) und einer schnellen thermischen Kontrolle (RTC). Die AVSB-Steuerung ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von bis zu 350 ° C auf temperaturempfindlichen Substraten, während RTC Temperaturen verschiedener Teile in der Kammer ermöglicht und andere Teile bei gleichmäßiger Temperatur hält. Das K465i ist auch mit einer automatisierten Prozesskammerreinigung (APCC) ausgestattet, die eine exakt ausgerichtete Dosierung von sauberen und konzentrierten Wasserstoff- und Stickstoffspezies an die Kammerwände strahlt und so jeglichen Materialaufbau und Ungleichmäßigkeit verhindert. Diese Maschine kann leicht mit einer Vielzahl von Abscheidungsquellen konfiguriert werden, wie hochreines Gas (HPG), Atomstrahlquellen (ABS) und Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Quellen, so dass maximale Flexibilität und vielseitige Abscheidungsprofile. Darüber hinaus ist die K465i mit 20 nm Temperaturregelgenauigkeit eingebettet, was eine hohe Temperaturgleichförmigkeit in der Kammer während eines beliebigen Prozesses gewährleistet. Das K465i ist für den Einsatz in GaN F&E und Großserienproduktion vorgesehen. Es ist benutzerfreundlich, vielseitig und zuverlässig, bietet kurze Zykluszeiten und hervorragende Schichtgleichförmigkeit in allen Aspekten. Und mit seinen Sicherheitsmerkmalen wie der Echtzeit-Lecksuche von Prozessgasen und einem Sicherheitsverriegelungswerkzeug für mechanische Komponenten garantiert die K465i höchste Sicherheits- und Leistungsstandards.